白光干涉零光程差位置四步测量法及其精度分析-天津大学学报.pdf

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2019-10-26 发布于天津
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第卷第期天津大学学报 ! # ’()! *’)# ! ! ! ! ! ! ! ! 年月 + -)$%%# ! $%%# # !#$%’()*%*%,%*-.$/*0 , + 1 白光干涉零光程差位置四步测量法及其精度分析孙杰!刘铁根!张以谟!江俊峰 ! !天津大学现代光学仪器研究所光电子信息技术科学教育部重点实验室天津 # !%%%$ 摘要!为研究现代干涉技术的应用!提出一种测量绝对长度和位移大小的白光干涉中零光程差位置测量方法在 ) ! 测量中以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔!以四步测量法作为数据处理方法确定干涉条纹的局部调制度采用重心法确定干涉条纹调制度的最大值位置!并以此作为零光程差位置对光电测量系统中的机械精度 ) ) 与光电测量精度对测量结果的影响进行了定量计算使用本方法!在的光强测量精度下可达到的位置定 ) 4g 4%O 位精度) 关键词!干涉$光程差$精度分析中图分类号% 文献标志码! 文章编号! ! # 1*$2 + %#2!3$4!$%%# %#3%!/!3%0 ! ! ! ! ! ! F#$?A0. 4.056%6Y0/J$.3*/*%2%’/*/($‘.$=*50J05 9 1 ;*((.$.%3.4./#$.:.%0*%B5*0.=*50Y%0.$(.$*% A/0.: 1 A.* b:; f?. 1:;3; 67+*d e:3O’ b?+*d bQ3E; = = ! B; fIR’-IL’- ’E8 L’3H(;CL-’:CK?E’-OIL:’AC:;C;IN1;CD’(’ H‘F 1D;?KL:LQL;’E M M , =M