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3.3　薄膜电阻材料 不同方法： 溅射基本保持原有成分。 3.3　薄膜电阻材料 Cr的影响：Cr以氧化物形式存在，随含量增大，薄膜方阻增大。 热处理： 真空，晶粒界面减少 大气，Cr2O3生成 3.3　薄膜电阻材料 2.镍铬铝薄膜 精密电阻材料 Al作用：降低阻温系数，提高稳定性 Al氧化物嵌在NiCr合金氧化膜内，形成致密结构 * * 电阻材料 3.1　电阻材料概述 （一） 电阻、电阻器 1.电阻 R＝V/I ? 2.电阻器：电阻元件 ，调节分配电能 形状： 线绕、合金箔、薄膜、厚膜、实芯、片式 阻值变化：固定、可变、电位器 （二）电阻率和膜电阻 电阻率：R＝?L/S 材料种类、结构、环境有关 膜电阻：Rs＝ ?/d 长宽相同的薄膜的电阻 方数：R= Rs N 3.1　电阻材料概述 (三）电阻和温度关系 阻温系数描述 αR= dR/RdT 平均阻温系数 3.1　电阻材料概述 1.纯金属 ?M＝AT ?R＝1/T 2.合金材料 ?＝?0+?i ?＝A（B+T) ?R＝1/(B+T) 3.1　电阻材料概述 提高金属电阻材料电阻率和降低阻温系数措施 a.采用合金，多元合金，温度系数补偿杂质的合金 b.线材、薄膜、厚膜或箔状 C.加入绝缘填充料 d.有机无机粘结剂 e.采用金属氧化物等非金属材料