电子枪扫描控制仪.docVIP

CDNY-06BA电子枪扫描控制仪 PAGE PAGE 7 成都真空机械厂南仪电子电气有限责任公司 四川省成都市双流县九江镇草金路双羽工业园区 邮编: 610200 电话:02885754908 电子枪扫描控制仪 CDNY—06BA 使 用 说 明 成都南仪电子电气有限责任公司 一、仪器简介： CDNY-06BA电子枪扫描控制仪（以下简称扫描仪）是我公司最新研制的专为电子枪配套的扫描控制电源。扫描仪巧妙的结合了模拟及数字电路，并具有RS232（或RS485）通讯接口，使之能与计算机实现通讯，对镀膜设备实现自动控制起到了不可缺少的作用。该控制仪的手操器是目前国内具有最先进技术的智能手操器，它通过串行总线I2C与主机相连接，运行可靠、安全。操作更加人性化，使得前一代仪器不可能达到的操作变为现实。该控制仪在人工控制模式下可以实现32点束斑位置记忆，并可对应选择实现存储不同波形及不同频率。人性化设计的手操器按键使得操控扫描仪器变得轻松自如。 二、主要性能及技术指标 输出合成波形：圆形环/面（X、Y均为正弦波）、方形环/面（X、Y均为梯形波）。随机方形面积（X、Y均为三角波）。 环形面积密度可选：1-20条环形圈数可选。 输出频率：0.1～250 HZ 可设置。（ 1HZ以内步长为0.1HZ，1HZ以上步长1HZ）。 X上限报警电流：0～2.5A可设置。 X下限报警电流：0～2.5A可设置。 设置参数掉电保存时间：10年。 X直流偏移：0～±2A 或0～2A可调。（根据电子枪选型而定） X波幅电流：0～±3A 可调。 Y直流偏移：0～±2A或0～±1.5A可调。（根据电子枪选型而定）。 Y波幅电流：0～±1.5A 可调。 X、Y输出特性：恒流。 静态功耗：≤40W。 仪器供电：AC 220V±10% 50HZ（如超过此电压范围建议采用稳压电源）。 三、智能手操器说明 通讯方式I2C 手操器共设8只按键；5只脉冲电位器；8只发光二极管；手操器内设有一只蜂鸣器，用于按键发音及电位器端点到位告警。 手操器按键操作：所有输出状态控制均为宽度为500mS的负脉冲 高压键 用于开启高压，在开启高压时应先按动高压预开键并使高压指示灯变成绿色否则不能打开高压且会听到两声告警音。 用于关闭高压，在高压开启的状态下（高压指示灯变成红色）再次按动高压键即可关闭高压。为了安全，关闭高压不受预开键限制。 注意：高压开启时的红色LED是检测外部PLC（可编程控制器）控制高压的时事动作状态，因此脱离到PLC的连线是看不到红色LED点亮的。 预开——为了防止误开高压，特设此键用于控制高压开关。每当按动一次〈预开〉键且高压LED变成绿色时即允许开高压。当高压LED熄灭时则禁止开高压。 挡板的控制： 当右枪工作时每按挡板键一下，右挡板改变一次动作。当左枪工作时每按挡板键一下，左挡板改变一次动作。 坩埚转位： 当右枪工作时每按坩埚键一下，右坩埚（穴位）顺序转动一位。当左枪工作时每按坩埚键一下，左坩埚（环行）开始或停止转动。 边界键——用于设置或解除X、Y电平及幅度的最大调节范围。 边界设置过程 ：边界设置是用于设置X、Y电平及幅度最大及最小调节范围。 按动边界按钮，启动边界设置功能。（边界LED闪烁） 每当当前电位器调节到位时： 按〈坩锅/下限确认〉 键锁定下电平边界 按〈挡板/上限确认〉 键锁定上电平边界或幅值边界，锁定时发出滴滴两声报警，同时锁定LED随警声闪烁。 注：允许记忆的边界有：X、Y电平最大值及最小值；X、Y幅度最大值。 当再次按动边界按钮时退出边界设置。 解除边界： 调节一下需要解除边界的电位器，按住边界按键3S钟且听到告警时即可取消当前调节电位器的边界限制功能。按住边界按键7.5S钟取消所有电位器边界限制功能。 坩埚键——用于控制坩埚的状态和确认下边界： 当选择右枪工作时每按动此键一下，坩埚顺序转动一位。 当选择左枪工作时每按此键一下，坩埚开始或停止转动。 设置下边界：当进入边界设置时此键为下边界确认键。 挡板键——用于控制挡板的状态或确认上限边界及幅度边界 常态时为挡板开关控制键（循环工作模式）：当选择右枪工作时每按动此键一下， 右挡板改变一次动作。 当选择左枪工作时每按此键一下，左挡板改变一次动作。 当进入边界设置时此键为上边界（最大调节点）确认及幅度边界确认键。 锁定键——用于禁止或允许X、Y电平及幅度电位器的调节。 复位键（蒸发量）——用于蒸发量调节快速归零。利用此功能可将电位器的调节值快速恢复到零点而不必将电位器旋转回到零点。（点动有效） F键（束斑位置记忆确认键）——