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《酸提取-原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物》 国家标准试验验证报告 酸提取-原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物标准等同采用SEMI MF1724-1104标准，对该标准的可靠性进行了验证，具体验证方法及结果如下： 1 试剂： 1.1水—所用的水应为ASTM 指南 D 5127中描述的E-1型水。 1.2 硝酸（HNO3）：65%，MOS级。 1.3 氢氟酸（HF）： 48%，MOS级。 1.4 过氧化氢（H2O2）：30%，MOS级。 1.5 酸清洗混合物： （1:1:1:25）HNO3 :HF: H2O2: H2O。 1.6 酸腐蚀混合物： （1:1:1:50）HNO3 :HF: H2O2: H2O。 1.7 钠标准贮存溶液（1000μg/mL）：GBW(E)080127。 1.7.1钠标准溶液（1μg/mL）：用1000μg/mL元素的标准溶液逐级稀释而成。 1.8铝标准贮存溶液（100μg/mL）：GBW(E)080219。 1.8.1铝标准溶液（1μg/mL）：用1000μg/mL元素的标准溶液逐级稀释而成。 1.9铁标准贮存溶液（1000μg/mL）：GBW08616。 1.9.1铁标准溶液（1μg/mL）：用1000μg/mL元素的标准溶液逐级稀释而成。 1.10铬标准贮存溶液（1000μg/mL）：GBW08614。 1.10.1铬标准溶液（1μg/mL）：