特种加工技术教学课件作者曹伟第5章.pptVIP

图5-18 激光焊接实物图 返回 图5-19 激光表面强化处理应用实例 返回 图5-20 电子束加工原理 返回 图5-21 电子束加工设备结构示意图 返回 图5-22 电子枪 返回 图5-23 电子束的应用范围 返回 图5-24 电子束加工的喷丝头异形孔 返回 图5-25 电子束加工斜孔 返回 图5-26 电子束加工曲面、弯孔 返回 图5-27 电子束曝光加工过程 返回 图5-28 各种离子束加工示意图 返回 图5-29 考夫曼型离子源 返回 图5-30 双等离子体型离子源 返回 表5-3 典型刻蚀率 返回 图5-31 溅射镀膜产品效果图 返回 * * 5.3 离子束加工 离子束加工的应用范围正在日益扩大。目前用于改变零件尺寸和表面力学性能的离子束加工有：用于从工件上做去除加工的离子刻蚀加工、用于给工件表面涂覆的离子镀膜加工、用于表面改性的离子注入加工等。 1．刻蚀加工 离子束刻蚀是通过用能量为0.5～5keV 的离子轰击工件，将工件材料原子从工件表面去除的工艺过程，是一个撞击溅射过程。为了避免入射离子与工件材料发生化学反应，必须用惰性元素的离子。氩气的原子序数高，价格便宜，所以通常用氩离子进行轰击刻蚀。 上一页 下一页 返回 5.3 离子束加工 由于离子直径很小（约0.1nm），可以认为离子刻蚀的过程是逐个原子剥离的，刻蚀的分辨率可达微米级甚至是亚微米级。但刻蚀速度很低，剥离速度