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页码： 页码：第 检测设备宕机处理规范 1、目的 确保产品在检测设备异常期间，得到及时有效的检测，从而保证产品质量。 2、适用范围 适用于所有在线、离线检测设备。 3、部门职责 3.1 生产部：按照规定执行使用部门职责。 3.2 质量部：①.负责挂牌和对应应急预案以及检测设备异常处理行动方案的监控和播报， 在责任部门交付后进行验证，判断合格，给予复机批准。 ②.按照规定执行使用部门职责。 ③.监督此文件标准化执行。 3.3 工艺部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与设备部负责人同时进行问题排查。 若确认是由于软件原因造成的异常，由工艺部进行排查，排查完毕后在《检测设备宕 机、屏蔽/复机记录单》中填写原因、措施、处理结果，处理完毕后交付给使用部门； 3.4 设备部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与工艺部负责人同时进行问题排查， 若确认是由于硬件原因造成异常的，由设备部填写原因、处理结果，处理完毕后、交付使用 部门。 3.5 通用职责： 3.5.1 使用部门：发现自己使用的检测设备异常（不工作或测试异常）后，第一时间通知 IPQC、相应责任部门负责人（可参照检测设备宕机责任部门表），并填写《检测设备宕 机、屏蔽/复机记录单》。 测试设备宕机维护责任部门 岗位 NO. 检测设备 责任部门 硅片检验 1 GP-Waf-Q 工艺/设备 2 Semilab-WMT 工艺/设备 3