浙江大学半导体测试技术第四章3.pptVIP

光的偏振态 * 3.2 外光路系统及样品装置 激光器之后到单色仪之前为外光路系统和试样装置，它的作用是为了要在试样上得到最有效的照射，最大限度地收集散射光，还要适合于作不同状态的试样在各种不同条件（如高，低温等）下的测试。 由于喇曼散射的效率很低，试样装置要能以最有效的方式照射样品和聚集散射光，它的光学设计是非常重要的。通常采用聚焦激光束照射到试样上，以提高试样上的辐照度，产生喇曼散射。一般用透镜L1聚焦激光束，使其最集中的区域（束腰处直径可达10μm）照射到试样上，试样上的辐照度大约可增大一千倍。如功率密度太高会损坏样品时，则不用透镜。透镜L2把样品上被激光束照明的焦柱部分准确地成象在单色仪的入射 狭缝上，以最佳的立体角聚集散射光，并使之与单色仪的立体角相匹配。试样室内的凹面镜M1和M2是用以提高散射强度的，M1把透过试样的激光束反射回来多次通过试样，以增强激光对试样的激发效率。对于透明试样照射光的强度增大五倍以上。M2则把反方向的散射光收集起来反射回去。 下图是天津港东的激光喇曼/荧光光谱仪的外光路系统及样品装置。 3.3 分光系统 分光系统是喇曼谱仪的核心部分，它的主要作用是把散射光分光并减弱杂散光。分光系统要求有高的分辨率和低的杂散光，一般用双联单色仪。两个单色仪耦合起来，色散是相加的，可以得到较高的分辨率（约1cm-1）。为了进一步降低