薄膜厚度测试教程教案.pptxVIP

主讲人：梁俊辉 薄膜厚度的测量 摘 要 此课题的意义 什么是薄膜 薄膜测量方法的分类 机械法------台阶仪 电学法-------晶振 光学法-------椭偏仪 薄膜厚度测量的意义 由于薄膜的“尺寸效应”的关系，薄膜的厚度不同，薄膜的电阻率、霍尔系数、光反射率等性质都会有所不同。为了更好地研究物质结构及性能，我们希望对各种膜厚的测量和控制提供更为灵敏和准确的手段。 什么是薄膜 薄膜是不同于其他物态（固液气、等离子）的一种新的凝聚态，物质的第五态。薄膜就是薄层材料，分为：气体薄膜、液体薄膜和固体薄膜。 不同测量方法的区别 不同测量方法对膜厚的不同定义： 基片表面为S，薄膜的不在基片那一侧表面 的平均表面称为薄膜的形状表面ST；将基片上 构成薄膜的全部原子重新排列，使其密度与块 状材料完全一样，而且均匀的分布在基片表面上， 把此时得到的表面称为薄膜的质量表面SM ；在测量了薄膜的 物理特性后，把具有同样物理性质而且宽度与长度与薄膜是一样的块状材料的表面称为薄膜物性表面SP 。 台阶仪、石英晶振、椭偏仪这三种测量方法测得的薄膜厚度，分别属于形状膜厚dT，质量膜厚dM，物性膜厚dP 台阶仪测量原理 形状薄膜测厚法 台阶法（触针法）：这是将表面光洁度测量移用与薄膜厚度测量的一种方法。 • 测量具体过程：金刚石触针——表面上