基于SPM技术的表面纳米计量.pdfVIP

专家论坛 !#$% ’(%)* 基于SPM 技术的表面纳米计量 黄文浩，陈宇航，党学明 （中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 /211/5 ） 摘要：用扫描探针显微镜 （ ）技术观察三维表面形态，可以达到纳米级甚至原子量级的分辨 -$ 率，所以 技术在计量方面有着广阔的应用前景。 年来，人们采用各种理论和方法来提高 -$ /1 -$ 的精度和稳定性，以适应表面计量领域不断提出的新要求。本文在总结表面规范与建模、 高分辨率和高时间稳定性测量、图像解释与表面重建、-$ 误差和校准以及纳米对准技术等研 究结果的基础上，对今后发展的趋势作了展望。 关键词：表面；纳米计量；扫描探针显微镜 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） %95 6 : 6;5 68755; 117 1 68111 681= !#$%’ (%()*’+,)-)./ 012’3 )( 456 +789(:;72 9:(? @AB8CDE ，F9G( HI8CDBJ ，KL(? MIA8NOBJ （ ， ， ） !# $%’( )* +%,-.-)( /0,1-(%2 0(3 4(.%5’(0-)( 6(-7%.-2 )* 8,-(, 0(3 9,1():);2 )* 1-(0 =* - P11Q 1-(0 02+,=+ ：-$ RASCBOTIAU UCEV JWADR XERABRODY OB NARWEYEJZ [ASDIUA RCWAA8\ONABUOEBDY REXEJWDXCOS ]ADRIWAU VORC BDBENARAW A^AB DRENOS WAUEYIROEB SDB [A DSCOA^A\_ KIWOBJ RCA YDUR RVE \ASD\AU ， ^DWOEIU RCAEWOAU DB\ RASCBOTIAU CD^A [AAB \A^AYEXA\ RE ONXWE^A DSSIWDSZ DB\ URD[OYORZ E] -$U RE NAAR RCA OBSWADUOBJ WATIOWANABRU OB UIW]DSA BDBENARWEYEJZ‘ @A COJCYOJCR UENA WAUADWSC WAUIYRU UISC DU UIW]DSA UXASO]OSDROEBU DB\ NE\AYOBJ ，COJC WAUEYIROEB DB\ COJC RONA8URD[OYORZ NADUIWANABR ， ONDJA OBRAWXWARDROEB DB\ UIW]DSA WASEBURWISROEB ，-a AWWEWU DB\ SDYO[WDROEB ，BDBEXEUOROEBJ RASC8 BOTIAU‘ ENA RASCBOSDY RWAB\U DWA DYUE SE^AWA\‘ ’/ ?),32 ：UIW]DSA ；BDBENARWEYEJZ ；USDBBOBJ XWE[A NOSWEUSEXA 在纳米计量领域，有几个重要问题必须引起 ! 引 言 注意。本文主要讨论基于-$ 的纳米计量技术的 扫描探针显微镜 （ ）系列，主要包括扫描 #$ . 个基本方面。 隧道显微镜 （ ），原子力显微镜 （ ）和扫