电压应力量测系统.ppt

計畫主持人 : 康定國 執 行 單 位 : 正修科技大學/ 電子系 計 畫 編 號 :NSC100-2622-E-230-004-CC3 日 期 : 2012/11/06 大 綱 合作廠商 計畫摘要 計畫内容成果說明 技術特點說明 可開發產品 推廣及運用的價值 合作廠商 合作廠商現況說明: 巨克富科技有限公司(.tw) 。 自行開發StrainMap, eStrain, FleXense量測系統，主要是在應變/振動/溫度之量測 。 經銷National Instruments(NI)系列商品。 代理日本SHOWA應變量測系列商品 …等等。 參與此計畫預期效益: 整合合作廠商的eStrain，可將其開發自動化低價I-V應力量測。 此量測系統之開發具商品化與市場競爭性。 ? 計畫摘要 ? 計畫内容說明 ? 研究成果說明 (續) 技術特點說明 此計畫技術特點如下: 建立國內自組自動化I-V應力量測系統之Know-How。 此量測系統已應用於CMOS製程元件或是矽奈米線元件之應力研究 。 此量測系統也可應用於非矽元件，例如對III-V MOSFET元件之壓阻性質研究 ，或是其它領域之相關應力量測。 整合合作廠商的eStrain，可將其開發出Strained I-V量測系統。 可開發產品 推廣及運用的價值 推廣 : 半導體、光電、軟性電子、IC封裝、或是 學界等有關應力量測與研究使用上的需 求。 運用 : 有關應力量測，或是整合至其它量測功 能(例如: I-V, Temp., Noise等) ，增加更多功能 。 報告結束，謝謝聆聽 ﹗ 附 錄 -1 應力量測平台 + Low-Frequency Noise * * 開發自動化低價電流-電壓 應力量測系統 目前效益: 此量測系統具商品化價值。 開發自動化低價 電流-電壓 應力量測系統 應力機構設計 方法: 使用四點式應力機構，提供待測元件均勻的應力，藉由應變規變化量測出。 (1) 低價I-V量測 方法: 選用低價的I-V量測儀，適當軟硬體架設，可以獲得較低的電流量測大小。 (2) 自動化系統 方法: 利用Labview程式整合應力機構與低價的I-V量測儀，將其成為自動化系統。 (3) 實驗驗證 方法: (a) 評估MOSFET壓阻係數。 (b)評估Nanowire壓阻係數。 (4) 應力機構 I-V量測儀 自動化系統 實驗驗證 評估壓阻係數 應力機構 低價I-V量測儀 Labview整合 應力機構 I-V量測儀 重要成果: 4篇SCI期刊，十五萬元授權金。 4. Nanotechnology, vol. 23, 2012. 共 4 篇 技術特點: 此量測系統具獨特性、應用領域廣、整合性高。 可應用領域 可開發產品 – 應力量測平台 – 應力機構 自動化低價I-V量測 低價I-V應力量測儀 低價低頻雜訊應力量測系統 特色: 此量測系統具擴充性高。 CMOS製程 非CMOS製程 軟性電子 微機電 OLED …等等相關應力量測 結論: 此量測系統已具備商品化價值、獨特性、 應用領域廣、整合性高。 此應力量測平台容易整合至其它量測功能。 * * *