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同轴结 同轴结构快Marx发生器设计及实验研究 甘延青 宋法伦 卓婷婷 张 勇 秦 风 龚海涛 金 晓 中国工程物理研究院应用电子学研究所高功率微波技术重点实验室 四川 绵阳621900 摘 要 为使脉冲功率源趋于小型化，设计了一种紧凑型同轴结构快Marx发生器。该系统采用 3.3nF低电感电容器作为储能电容，采用螺旋形空芯电感作为充电电感，通过各级气体火花开关迅速 放电在负载上建立了陡化前沿的输出电压波形。为使整个系统达到小型化的目的，电容、气体开关、 充电及隔离电感设计为同轴一体化结构，整个Marx发生器放置在一个密封的金属圆筒内，通过充氮 气或者六氟化硫气体来绝缘。 采用理论及电路模拟的方法，分析了开关导通状态、分布电容、回路电感等因素对输出波形的 影响，通过优化结构设计，完成了12级Marx发生器的设计。基于此系统，研究了在开路及短路状 态下的脉冲输出波形，获得了系统的回路电感，得到了与理论分析基本一直的结果。系统的基本运 行参数为：十二级marx发生器在负载50Ω时输出电压100kV，开路电压达200kV，负载输出波形脉 冲宽度35ns，上升时间10ns，脉冲功率源能量为7.2J，峰值功率200MW，可重复频率运行50Hz。 关键词 脉冲 功率技术;Marx发生器;陡化 前沿;低电感电容器 ;自击穿气体火花开关 240 240 同轴结构快Marx发生器设计及实验研究 图1 LC型marx发生器电路原理图 2初级充电电源研制 为实现小型化Marx发生器的设计，减轻系统的重量，初级充电电源采用电池组供电技术，无需 外接电源。整个电源采用以下的方法实现：要产生几十KV的高电压，常用办法是采用变压器升压或 者采用倍压电路进行升压，由于体积的限制，确定采用倍压升压的方式实现，即需要把24伏电压逆 变为交流电压，在把24伏电压逆变转换为交流电压的方式中，采用开关电源中使用的实现方式。其 中有单晶体管变换器、推挽晶体管变换器和用可控硅或者IGBT实现的逆变器几种方式，因为这个电 源所功率约为100W，单晶体管变换器所能实现的功率较小，而采用可控硅和IGBT实现的逆变器虽 然功率大，但体积也大。随着半导体技术的发展，用双晶体管也能实现几百瓦的功率，所以最后选 定用他激式的推挽变换器的的方式。由此确定电路图如下。 图2电源电路图 工作原理为：当接入24伏的电池电压时， 由脉宽调制芯片SGl525产生正负脉冲，经过光耦隔 离后，再经过三极管3DKl0放大，输出的脉冲 驱动高频大功率三极管3DF80G轮流导通，在变 压器初级绕组产生交替变化的方波电压，再经变 压器耦到次级绕组后倍压，就成为所需要的直流 供电。 研制的电池组倍压供电电源如图3所示。系 统最大输出电压为30kV。 图3初级供电电源 四川省电子学会曙光分会第十六届学术年会论文集 四川省电子学会曙光分会第十六届学术年会论文集 241 Marx发生器结构设计 一般的Marx发生器，采用电阻作为充电以及隔离器件，而采用电感隔离的Marx发生器充电时 间可以很短，有利于重复频率运行。而快上升沿Marx发生器的设计，根本上说就是要减小树立电感， 主要是通过设计合理的紧凑结构减小连接电感。为此我们采用同轴结构连接，可以减小电容器的连 接电感。具体结构如图4所示。 5 图4 Marx发生器结构示意图 发生器采用模块化设计，储能电容采用3300pF／30kV圆饼型高压陶瓷电容器。电容器其中一个 电极与集成了开关的电极板连接，另一个作为接地电极。第一级为触发模块，如图5所示，其他级 为自触发模块，如图6所示。 电容器 充电电感 图5触发模块 电感 图6 自触发单元模块 242 242 同轴结构快Marx发生器设计及实验研究 4参数计算 一般情况下，简化的电路模型模拟Marx发生器放电情况，可以得到Marx输出电压幅值、脉冲 上升时间以及脉宽等相关信息。根据L和C取值不同，负载电压波形也不同，L约小，峰值电压效 率越高。L一定时，加大电容量也可以提高电压效率，但总能增加。因此，电路的电感、电容要有 一个相对精确的估计，才能得到较接近实际的模拟结果。 4．1树立电感 Marx发生器最主要的参数是树立电感，从Marx发生器的结构来看，电感主要来自开关电感、 电容器的电感以及连接电感。开关电感包括通道电感和结构电感。火花通道电感估算公式为 Lcl一。I=14d(nH)，d为间隙距离，单位cm。开关间隙设计为0．3cm，火花通道电感为4．2nil。结构电 感经计算约lnH。十二个开关电感总计约63rfl-I。电容器电感约为20nil，十二级共计12x20nH=240nH。 连接电感约100nH。系统总电感约394(nH) 4．2对地电感 从整个Marx结构来看，由于采用电感隔离，Marx发