AZO靶材热压致密化及Al元素扩散研究.pdfVIP

第30卷第6期 粉末冶金技术 V01．30，No．6 2012年12月 Powder Dec．2012 MetallurgyTechnology AZO靶材热压致密化及Al元素扩散研究木 白雪一 王星明一+ 储茂友 张碧田 段华英 石志霞 孙静 韩沧 (北京有色金属研究总院稀有金属与冶金材料研究所，北京100088) 摘要：以98：2(质量比)的ZnO．AI：0，混合粉体为原料热压制备AZO靶材。通过阿基米德排水法测定试样 密度，XRD分析物相组成，TEM观察靶材的微观结构，研究靶材热压致密化和A1元素扩散的规律。结果表明： Al元素在未经煅烧的原料粉中以A1，0，的形式存在；而在煅烧处理后的粉末中，Al元素部分扩散进入了ZnO的 晶格中，导致其层状属性c／a值的减小，另一部分Al元素由于固溶度的限制形成ZnAl：0。尖晶石。在热压温度 为1000℃时，未经煅烧的原料粉中A1：O，与ZnO发生反应生成ZnAI：O．；而煅烧处理后的粉末在1000℃热压 时，尖晶石含量最高为3．41％(质量分数，下同)，温度升至1150。C，ZnAl：O。的含量下降至2．64％，延长保温时 间，ZnAI：O．含量逐渐减少。由此说明，热压温度为1000℃时，易于形成ZnAI：O。相，在升温过程中，ZnAl：O。与 ZnO中的Al元素存在互扩散。通过靶材的微观结构分析发现，ZnO晶粒中夹杂着ZnAI：0．，AI元素含量在ZnO 晶粒中呈梯度分布。在热压过程中插入合适的保温保压点能改进热压工艺，有效提高靶材的致密度。 关键词：AZO靶材；热压；密度；ZnAl20． ofthe densificationofAZO andthe Study hot-pressing process target diffhsionbehaviorof．Alelement Bai Xue，WangXingming，ChuMaoyou，ZhangBifian，DuanHuaying，ShiZhixia，SunJing，HanCang Metaland MaterialsResearch ResearchInstitutefor (Rare Metallurgical Institute，General Non-Ferrous 100088，China) Metals，Beijing were 98wt％ZnOand mixture asraw Abstract：AZO targets preparedbyhot-pressingusing 2wt％A1203powder influence of ofthe of onthedensificationAZO andthediffusion materials．Study hot—pressingparameter process target behaviorofAIelementwascarriedout themethodslisted was Archimedes