椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率.docxVIP

综合设计性近代物理实验的研究z— “椭圆偏振法测量薄膜的厚度和折射率”实验教学方案 杨建荣，毛杰健，简伟伟（学生） 摘要：椭圆偏振法测量薄膜的厚度和折射率实验，在我校是首次开设的近代物理实验。本文介绍了用椭圆 偏振仪测量薄膜厚度和折射率的原理和方法，设计了自制纳米铜薄■膜和测定样品的厚度与折射率的实验方 案，综合了纳米铜薄膜制备技术和薄膜厚度测量技术，分析和校对了椭圆偏振仪入射角对测量结果的准确 度的影响，提出了减小系统误差的建议。 关键词：椭圆偏振仪；薄膜；厚度；折射率 中图分类号：TB83 1引言 薄膜技术在各个高科技领域，发挥着越来越重要的作用。在近代科学技术的许多部门 中对各种薄膜的研究和应用日益广泛.对于薄膜，膜厚和折射率是重要的参数，在一定的程 度上决定着薄膜的力学性能，电磁性能，光电性能以及光学性能。因而准确地测量薄膜的厚 度和折射率已变得非常迫切和重要。在实际工作中虽然可以利用各种传统的方法测定（如 布儒斯特角法测介质膜的折射率、干涉法测膜厚等）[1],但椭圆偏振法具有独特的优点，它 是一种较灵敏（可探测生长中的薄膜小于0. lnni的厚度变化）、精度较高（比一般的干涉法高 一至二个数量级）、并且是非破坏性的测量方法，是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法， 它具有单原子层分辨率的快速非破坏性技术，能够在高真空，空气水气等各种环境下使用。 因而，目前椭圆偏振法测量已在