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量子信息专刊 · 评述 超导纳米线单光子探测技术进展 尤立星①② ① 信息功能材料国家重点实验室, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 上海 200050 ② 中国科学院上海超导中心, 上海 200050 E-mail: lxy ou@ 收稿日期: 2013–05–27; 接受日期: 2014–01–03 国家自然科学基金 (批准号: 、国家重点基础研究发展计划 (批准号: 2011CBA00202)、 国家高技术研究发展计划 (批准 号: 2011AA010802) 和中国科学院战略性先导科技专项 (B 类) (批准号: XD XD 资助项目 摘要 超导纳米线单光子探测技术自 2001 年出现以来, 已经成为超导电子学领域的一个热点研究 方向. 作为一种新型的单光子探测技术, 其具有探测效率高、暗计数低、时间抖动小、计数率高、响 应频谱宽、电路简单等优势, 综合性能在近红外波段已经明显超越传统的半导体探测技术, 成为一种 主流的单光子探测技术. 本文从应用基础角度出发, 对超导纳米线单光子探测器件的材料、器件工 艺、性能、系统集成以及前沿应用等进行介绍, 并对国际上该领域研究未来的发展趋势进行探讨. 关键词 单光子探测 超导纳米线单光子探测 量子通信 探测效率 暗计数 时间抖动 1 引言 探测技术是对于物质实现有效感知的技术, 极限灵敏度探测能力是探测技术发展的终极目标. 对 于光来说, 光能量的最小单位是一个光子, 这是由量子理论确定的不可再分的量子极限. 因此光探测 能力的极限将是实现单个光子探测. 单光子探测技术 (single photon detector/detection, SPD) 作为极 限灵敏度光信号测量技术, 在量子信息技术、物理、化学、生物和天文等领域具有不可替代的作用. 特 别是在量子信息领域, 单光子探测技术已经成为该领域发展不可或缺的核心关键技术之一. 在量子信息、生物荧光分析、激光雷达等应用对 SPD 技术需求推动下, 基于硅材料的雪崩光电 二极管 (APD), 光电倍增管 (PMT) 等 SPD 技术发展迅速, 已经出现一些较为成熟的商用半导体单 光子探测器产品, 著名的产品厂商包括德国 PicoQuant 公司、Excelitas 公司、瑞士的 ID Quantique 公司、法国 AUREA 公司和日本 Hamamatsu 公司等. 这些 SPD 已经获得了较为广泛的应用. 但是 多数 SPD 只能工作在可见光区域. 近红外波段很多应用 (光纤量子通信等) 对在近红外波段工作的 SPD 提出了迫切的需求. 基于 Si 的 APD 和 PMT 由于材料禁带宽度的制约无法实现近红外波段 单光子的有效探测. 为此发展了基于窄禁带半导体材料 InGaAs/InP 的 SPD1). 其典型探测效率在 1550 nm 可达到 20%, 但是其暗计数率通常很高 (10 KHz 左右), 且计数率低, 时间抖动较大, 整体性 能和可见光波段 SPD 相差甚远. 因此亟需发展新型近红外波段高性能单光子探测技术. 在此背景 下, 很多近红外波段新型单光子探测技术应运而生, 包括频率上转换探测 [1], 量子点探测器 [2] 以及 1) Website: /en/ 引用格式 引用格式: 尤立星. 超导纳米线单光子探测技术进展. 中国科学: 信息科学, 2014, 44: 370–388, doi: 10.1360/N112013-00057 数种超导 SPD 技术等. 超导 SPD 包括超导电阻转变沿 (transition edge sensor, TES) 传感器 [3], 超 导隧道结 (superconducting tunnel junction, STJ) [4] 以及超导纳米线单光子探测器 (superconducting nanowire single photon detector/detection, SNSPD). TES 和 STJ 研发的初衷均是面向天文应用的高能 射线和粒子探测, 其在可见光, 近红外波段单光子探测同样具有一些非常优异的性能. 比如, TES 在近 红外波段探测效率可以达到 90% 以上, 暗计数几乎为零, 且具备光子数分辨能力; 但是其计数率很低 ( 100 kHz), 时间抖动大. 更为关键的是, TES 和 STJ 均采用极低温超导材料制备, 比