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Opto-Electronic Engineering2012 年 12 月Dec, 2012文章编号：1003-50 Opto-Electronic Engineering 2012 年 12 月 Dec, 2012 文章编号：1003-501X(2012)12-0055-08 零差激光干涉仪正交相位误差的分析 胡红波，于 梅 ( 中国计量科学研究院，北京 100013 ) 摘要：针对零差正交激光干涉仪在直线运动测量中的误差来源及其影响，说明了零差激光干涉仪两路正交干涉信 号中零漂、幅度误差以及相位误差等典型的非线性因素对位移测量的影响。本文采用一种简单的方法首先去除了 干涉信号中的零漂与幅度误差，详细论述了正交相位误差对振动与冲击位移测量的影响，通过试验与理论分析的 方式确定了相位误差引起位移测量误差的大小及误差性质。提出了对相位误差进行修正的办法，并通过装置试验 验证了该方法的有效性，为整个标准装置的不确定度评估以及干涉仪的调试提供了参考。 关键词：零差激光干涉仪；正交信号；相位修正；直线运动；误差分析 中图分类号：TH741；TH744 文献标志码：A doi：10.3969/j.issn.1003-501X.2012.12.010 Analysis of Quadrature Phase-shift Error for Homodyne Interferometer HU Hong-bo，YU Mei ( National Institute of Metrology, Beijing 100013, China ) Abstract: The influence and origin of quadrature phase shift on the measured rectilinear displacement measurement error was investigated using a homodyne laser interferometer with a quadrature output. Common nonlinearities, including zero-shift, different amplifier gains and phase shift are three typical errors for displacement measurements. A simple method was used to determine and correct the zero shift and unequal gains, and the influence of the phase-shift was described in detailed experimentally, including the effective way to correct phase error. The effectiveness of the method was validated by comparing the displacement error before and after phase shift error-corrected. Moreover, the method can be applied to assess standard machine and adjust interferometer. Key words: homodyne interferometer; quadrature signal; phase correct; rectilinear displacement; error analysis 0 引 言 科学研究与工业生产对测量系统的要求越来越高，这对测量系统的量值溯源提出了更高的要求。在振 动与冲击等直线运动计量领域，各个国家计量院按照相关ISO[1-2]标准的要求建立的标准装置，通过高精度 的机械激励系统与激光干涉技术的应用，使得加速度物理量的复现具有很高的准确度，同时也为加速度量 的国际比对提供了可靠的手段。 基于正交相位输出的激光干涉仪具有纳米级的分辨率，并且在很宽的位移动态范围内具有恒定的灵敏 度，故一般作为国家计量院最高级别的标准装置。中国计量科学研究院(以下简称计量院)建立的新一代振 动与冲击绝对法标准装置，均采用激光干涉技术作为复现机械位移量的手段。在振动冲击等直线运动领域 使用的激光干涉仪主要包括三种：第一种是普通的麦克尔逊干涉仪，当被测量的位移为 ? 2 ( ? 为波长)时， 此时两路光束由于光程差能产生一条干涉条纹，通过所谓的条纹计数法即可得到被测位移的大小，但受其 收稿日期：2012-07-24； 收到修改稿日期：2012-