小型高压重复频率微秒脉冲电源及其放电应用(论文).pdfVIP

第26卷第4期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．26，No．4 PARTICLEBEAMS POWERLASERAND Apr．，2014 2014年4月HIGH 小型高压重复频率微秒脉冲电源及其放电应用+ 黄伟民1,3，邵涛h2，张东东1’2，马浩1’3，严萍1’2”，周亦骁1，周杨1’3 (1．中国科学院电工研究所，北京100190；2．中国科学院电力电子与电气驱动重点实验室，北京100190； 3．中国科学院大学，北京100039；4．电力设备电气绝缘国家重点实验室(西安交通大学)，西安710049) kV，上升 摘 要： 针对实验产生等离子体的需求，研制了一种高压微秒脉冲电源，输出电压最大值为30 沿最小为300ns、脉宽0．5“S。测试结果表明电源的输出特性由负载决定，同时调节输入电压、触发脉宽可以 改变电源的输出脉冲。研究了针一针放电负载时，电源重复频率以及针针间隙对于放电模式的影响，并通过研 究电源输出随负载的变化来区别不同的放电模式，最后把电源成功应用于介质阻挡放电。 关键词：等离子体；脉冲功率；高压微秒脉冲；针针放电；介质阻挡放电 中图分类号： TM89 文献标志码： A doi：10．11884／HPLPB201426．045044 低温等离子体在环境污染治理‘1|、医学杀菌嘲、材料改性嘲及流动控制n1等领域具有广泛的应用及独特的 优越性。而大气压非平衡低温等离子体由于其低成本、易于应用等优势受到人们的格外关注[5书]。与交流驱动 相比，脉冲放电产生的大气压等离子体具有许多优势，如在对介质表面处理时能达到更好的处理效果和更高的 效率，更易产生均匀的大面积等离子体，所产生等离子体的非平衡性更高、灭菌效果更好等[7]。中国科学院电 工研究所在大气压空气中利用纳秒脉冲激励介质阻挡放电(DBD)，实现了均匀放电，通过比较高频高压DBD 和单极性纳秒脉冲DBD在产生低温等离子体方面的难易程度、效率、控制性等，得出脉冲放电对于放电均匀性 用。而微秒脉冲与纳秒脉冲相比，不仅具有脉冲功率的优越性，而且单个脉冲所携带的能量更大，对于一些需 要较大功率的应用，微秒脉冲源有其优势。卢新培等利用脉冲功率源研究DBD产生弥漫性氩等离子体，脉冲 电压在脉宽小于600ns时，对DBD的输出电流脉宽影响较大[18l，该电源的电压脉宽在0．2肚s～1ms可调，电 压幅值为10 kV。Vizir等研制了一款等离子体微秒脉冲源，脉冲电压幅值在20～60kV可调，脉宽5～20肚S kHz[1 可调，上升沿1“s，重复频率1．2 9|。针对DBD能高效产生低温等离子体，中国科学院电工研究所研制了 kHz[z 一款紧凑型单极性重复脉冲功率源，电压幅值30kV，重复频率2 0|，但该电源输出并联300Q电阻，对输 出功率有影响。本文针对等离子体应用，研制了一种小型紧凑的高压微秒脉冲功率源，该电源的脉冲电压幅值 在o～30 kV连续可调，重复频率在o～10kHz范围可调，可用于探究多脉冲参数改变对于产生等离子体的影 响，并可用于材料表面处理。 f 1微秒脉冲源设计 1．1主电路拓扑设计 高压微秒脉冲电源包括六个部分：谐振倍压电路、升 压输出电路、辅助电路、吸收保护电路、触发控制电路和 测量显示电路，如图1所示。其中，交流供电给谐振倍压 电路初级电容充电，谐振倍压电路向升压输出电路提供 初始脉冲，使升压输出电路对负载输出高压微秒脉冲；触 发控制电路实现对谐振倍压电路中开关关断和开通的控 制，以及实现对谐振倍压电路和升压输出电路的隔离；辅 Schematicofmaincircuit