微机械学中的纳米摩擦学第一节.ppt

微机械学中的纳米摩擦学 1.1 微机械发展简史 ? 1959年，Richard P Feynman提出了微型机械的设想。 ? 1962年硅微型压力传感器问世，其后开发出尺寸为50～500μｍ的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微系统。 1.1 微机械发展简史 ? 20世纪90年代，发达国家先后投巨资并设立国家重大项目促进MEMS技术的发展。目前，在微型加速度计、微型压力传感器、数字微镜器件（DMD）、喷墨打印机的微喷嘴、生物芯片等领域都实现了MEMS技术。 1.2 MEMS微型化带来的理论问题 目前，各种微器件有机结合成真正意义上的Ｍ EMS还有相当的难度，如何建立MEMS等效机构的失效模型这一问题尚未得到有效解决。其原因主要是人们对微观条件下 MEMS 器件的运动规律、物理特性和受载之下的力学行为缺乏充分的认识，没有形成基于一定理论基础的 MEMS 设计理论方法，只能靠传统方法进行试探性研究。目前， MEMS 基础理论研究还远远不能满足人们的需要，成为整个微光机电系统进一步发展的瓶颈。 1.2 MEMS微型化带来的理论问题 尺度效应 1.3 摩擦学的定义与发展过程回顾 摩擦学（tribology）一词是20 世纪60 年代中期由英国教育科学研究部发表的《关于摩擦学教育和研究报告》（常称为Jost 报告）中首次提出