高精度双测头量块比较仪的研究.docxVIP

第3l卷第6A期 计 量 学 报 第3l卷第6A期 计 量 学 报 V01．31．№6A 2010年12月 ACTA METROLOGlCA SINICA December，2010 doi：10．3969／j．issn．1000-1158．2010．z：2．31 高精度双测头量块比较仪的研究 张旭东， 刘香斌， 吴月艳 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：研制了一种新型高精度虽块比较仪，该比较仪采用上、下双电感测头进行测量。给出了比较仪的总体结 构，系统采用数字滤波算法对电感测微仪的随机误差进行处理，在±20岬测量量程内，对比较仪进行了精确标定，编 制了测最控制软件。并对该量块比较仪进行了重复性和示值误差测试。实验结果表明其示值误差占≤±(0．02+ 0．002L)p,m。 关键词：计量学；量块比较仪；示值误差；双测头 中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000-1158(2010)6A-0131-04 Development of High—accuracy Gauge Block Comparator Based on Dual Probe System ZHANG Xu—dong，LIU Xiang-bin， WU Yue—yan (National Institute of Metrology，Beijing 100013，China) Abstract：A type of higll precision gauge block comparator with dual inductive probe system is developed．The overall of the comparator is presented The random of the inductive micrometer with digital filtering arithmetic is dealt with．The calibration of the comparator is completed in±20岬measuring range and the measurement control software is also developed．Finally，the repeatability and indication is tested the gauge block comparator．Experimental results show that the indication is less than-I-(0．02+0．002L)斗IIL Key words：Metrology；Gauge block eomparator；Indication error；Dual probe 1 引 言 2 比较仪结构 在精密位移测量中，95％以上的量块测量为比 双测头量块比较仪结构示意图如图l所示，它 较测量，采用乌氏干涉仪或者其他类型比较测量仪 由基体部分(底座、立柱)、电感电箱、上下测头及调 器测量两个被测件的长度微差得到测量结果，在计 整部分、工作台等组成。其工作原理是分别读取标 量领域广泛应用。我国高精度量块比较仪一直采用 准与被测量块的数值，计算被测量块与标准量块的 单测头测量形式，测量时上测头与量块上表面接触， 差值。 量块的下表面与工作台相接触进行测量 ，这种测 比较仪的基座和立柱为大理石结构，上测头移 量方法不符合国际标准规定。为此，本文介绍了一 动范围大于100 mill，以满足0．5～100 mm量块测量 种新型高精度双测头量块比较仪，其测量原理符合 需要。 国际标准，测量分辨率和精度较高，并且实现了自动 工作台放置被测量块，采用多筋装配组合形成 测量。 五筋工作台，由上下两部分组成。工作台下部与基 收稿日期：2010-06-04；修回日期：2010—11-03 作者简介：张旭东(1977一)，男，河北任丘人，中国计量科学研究院助理研究员，主要从事长度计量及几何量精密测量技术研究。 zhxd@him．ae．cn 132 132 计 量 学．报 2010年12月 图2电感测微仪计算机测量系统框图 3．1随机误差处理 在基于计算机的测试系统中，由传感器检测到 的被测信号经二次测量电路处理，由计算机读入，并 对采样数据进行进一步的处理以提高测量的可靠性 和精度，处理后的数据再进入应用程序，最后给出测 量结果。 影响电感测微仪测量精度的因素主要有两点， 图1比较仪结构不意图 一是测量系统本身的精度，二是使用环境对系统的 1一立柱；2--电感电箱；3一上测头；