现代材料测试技术-第八章-电子光学基础.pptVIP

材料电子显微分析 电子显微分析 利用TEM、SEM、EPMA等电子光学仪器，对固态物质的微观形貌、组织结构及各组成元素的显微分布等进行实验分析研究，统称为电子显微分析。 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号来进行分析。 电镜的发展历史 1924年，德布罗意计算出电子波的波长 1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦 1932～1933年，德国的劳尔和鲁斯卡等研制成功世界上第一台电子显微镜 1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领优于10nm的商品电子显微镜 TEM与OM比较： TEM与SEM比较： TEM分析薄膜样品，用电子束照明，经聚光镜聚焦后照射样品，透射电子经成像系统聚焦、放大、成像，并由荧光屏显示或照片记录。依据样品不同位置透射电子束强度不同成像，得到样品的形貌像；依据电子衍射方向与强度的不同成像，得到样品的衍射像（衍射花样、衍射谱）。 SEM利用由电子光学系统获得的聚焦电子束在样品表面扫描，电子束与样品相互作用产生各种特征信号，经探测、收集、放大、调制由荧光屏显示或照片记录。可获得样品的表面扫描图像。 1 电子光学基础 电子光学分析所使用的仪器其共同特点是采用电子照明，涉及电子光学。 1.1 光学显微镜的局限性 光学显微分析采用可见光照明，由于波长限制，使其最佳分辨率在2000 ?。 从↘照明λ角度考虑： 紫外线