第十四章 电子背散射衍射分析技术.ppt

第二篇 材料电子显微分析;第十四章 电子背散射衍射分析技术;电子背散射衍射(EBSD)技术，开始于20世纪80年代，该技术是基于扫描电子显微镜为基础的新技术 利用此技术可以观察到样品的显微组织结构， 同时获得晶体学数据，并进行数据分析 这种技术兼备了 X 射线统计分析和透射电镜电子衍射微区分析的特点， 是X射线衍射和电子衍射晶体结构和晶体取向分析的补充 电子背散射衍射技术已成为研究材料形变、 回复和再结晶过程的有效分析手段，特别是在微区织构分析方面的应用;EBSD的发展大致经历以下几个阶段： 1928年，日本学者Kikuchi在透射电镜中，首次发现了带状电子衍射花样，并对此衍射现象进行解释， 故称这种线条花样为菊池花样 1972年，Venables和Harland在扫描电镜中，得到了背散射电子衍射花样 20世纪80年代后期， Dingley得到了晶体取向的分布图。并成功地将EBSD技术商品化 20世纪90年代初， 成功研究出自动计算取向、 有效图像处理以及自动逐点扫描技术，之后能谱分析和EBSD分析的有效结合使相鉴定更加有效和准确 2000年以后， EBSD标定速度的大幅提升，加快了EBSD的发展和推广;第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学基础;第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学基础;第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学基础;第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学基