王晓耀国内典型设备常见故障和处理2018.7.pptx

国内典型设备常见故障及排除王晓耀2018年7月一、气态设备常见故障及排除国内典型设备常见故障及排除二、零气设备常见故障及排除三、颗粒物常见故障及排除一、气态设备常见故障及排除1、气路类故障及排除3、其他常见故障及排除2、传感器类故障及排除0302011、气路类故障及排除COO3共同点：1、气路较简单2、限流孔在反应室和真空泵之间，反应室压力接近大气压3、气路中均存在压力、流量传感器，用于监测设备运行气路状态4、设备一般使用限流孔控制气路流量SO21、气路类故障及排除1、气路较复杂2、限流孔在采样泵和反应室之前，反应室压力很低NOX1、气路类故障及排除一、气路动力源损坏常见故障表现：CO\O3\SO2设备采样流量偏低，NOX设备反应室压力高。常见故障原因：1、泵轴承损坏，阻力大，或线圈损坏导致泵不转2、内置泵泵膜损坏2、外置泵活塞部分密封不严，档片部分污染严重漏气。常见故障解决方法：1、更换轴承或更换整体泵2、更换泵膜3、更换泵组件（包括活塞、缸体、档片、橡胶圈、档片安装板）1、气路类故障及排除1、气路类故障及排除二、气路堵塞常见故障表现：1、设备采样流量偏低，2、CO\O3\SO2设备反应室压力异常与大气压一致，3、NOX设备实测样气流量偏低。4、设备数据不变、或为0左右。常见故障原因：限流孔、烧结过滤器沉积杂质堵塞常见故障解决方法：清洗或更换限流孔（毛细管）、烧结过滤器1、气路类故障及排除三、气路泄露常见故障表现：设备数据异常（一般偏低或通标无反应），设备测量采样流量偏低、显示采样流量正常，设备显示采样流量偏低，CO\O3\SO2设备反应室压力异常与大气压一致，NOX设备反应室压力偏高。常见故障原因：采样支管接头漏气、设备内管路松动、泵管路松动，除烃器内管脱落。设备检漏：点式气态设备检漏一般采用真空检漏法将设备气路密封成封闭腔体，通过一个外接口使用真空泵对腔体进行抽真空，然后关闭真空泵封闭腔体，用负压表监测腔体内真空度变化情况。一般认为5分钟内真空度变化不超过15KPa为不泄露。注：负压气路不能使用皂膜检漏法2、传感器类故障及排除点式气态设备常见传感器种类：B压力传感器流量传感器1、质量流量传感器2、质量流量控制器1、绝对压力传感器2、相对压力传感器A温度传感器光传感器铂电阻、热电偶、热敏电阻、温度开关光电管、光电倍增管、硒化铅红外探测器CD2、传感器类故障及排除绝对压力传感器里面有一个真空的内腔作对比，得出绝对的压力值。相对压力传感器使用另一个用户提供的气源压力（可以使大气）作对比。压力传感器故障排除：1、检查气路有无问题，排除由于气路问题导致的设备压力参数异常。2、根据传感器型号查找传感器技术参数。3、根据参数检查传感器供电是否正常。4、供电正常可以检查大气压下传感器输出信号是否正常。5、使用合适的正压或负压检查传感器信号是否正常。以上步骤可判断传感器工作是否正常2、传感器类故障及排除绝对压力传感器一般应用于大气压、反应室压力测量型号：15PSI-A-4V-ASCX量程：15 PSI（103.42 kPa、30.54IN-HG）输出电压：0.25 V ~ 4.75 V工作电压：4.5V~ 5.5V典型工作电压：5V相对压力传感器一般应用于测量真空度、正压等场所型号：100PSI-D-4V-ASCX量程：100 PSI（689.48 kPa）输出电压：0.25 V ~ 4.75 V工作电压：4.5V~ 5.5V典型工作电压：5V2、传感器类故障及排除流量传感器故障排除：1、检查气路有无问题，排除由于气路问题导致的设备流量参数异常。2、根据传感器型号查找传感器技术参数。3、根据参数检查传感器供电是否正常。4、供电正常可以检查0流量下传感器输出信号是否正常。5、使用合适的流量检查传感器信号是否正常。以上步骤可判断传感器工作是否正常型号：AWM3300V量程：1000SCCM输出电压：0-5v工作电压：10V型号：AWM5104量程：20SLPM输出电压：1-5v工作电压：10V2、传感器类故障及排除MFC既是控制器，也是传感器MFC分为数字MFC和模拟MFC。市场现存设备基本为模拟MFC。现场问题：流量不对，无流量a、检查供电是否正常，尤其检查带载供电情况。b、检查流量控制信号是否正常c、检查流量反馈信号是否正常2、传感器类故障及排除温度传感器铂电阻热敏电阻热电偶温度继电器当外界温度达到给定值时而动作的继电器作温度控制和过热保护用通常用于设备内反应室、钼炉、颗粒物加热器等的温度保护。正温度系数热敏电阻器(PTC)在温度越高时电阻值越大，负温度系数热敏电阻器(NTC)在温度越高时电阻值越低常用于设备内机箱、反应室等温度测量直接测量温度，并把温度转换成电动势信号测温范围较宽，一般为-50~1600°C，最高的可达到3000°C常用