现代电磁测量论文(20131202).doc

北京航空航天大学 Beihang University 多晶硅太阳能电池 学号：SY1319126 姓名：刘承月 导师：张维佳老师 2013-12-2 摘 要：简述太阳能电池的发展历程，并详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺，多晶硅薄膜太阳能电池的结构、特点，以及多晶硅薄膜的制备方法，阐述了沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术，并展望了多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势。 关 键 词：衬底，多晶硅薄膜，太阳能电池，发展趋势 TOC \o 1-3 \h \u 8057 1引言 2 16255 2 硅太阳能电池的原理 3 9869 2.1 太阳能电池的原理 3 1840 2.2 多晶硅太阳能电池工作原理 3 8785 2.3 多晶硅太阳能电池结构特点 4 24195 2.4 多晶硅电池构成 4 29473 2.4.1 绝缘基板上的电池结构 4 17369 2.4.2 石墨基板上的电池结构 5 10092 2.5 多晶硅电池特性 5 14129 2.6 多晶硅太阳能电池对薄膜的基本要求 5 25943 3 多晶硅薄膜太阳能电池制备方法 6 23479 3.1 半导体液相外延生长法（LPE法） 6 27279 3.2 区熔再结晶法（ZMR法） 6 19149 3.3 等离子喷涂法（PSM）