厚度渐变结构介电性能测试用变间距叉指型相邻电容-机械工程学报.pdf

第 53 卷第 18 期 机 械 工 程 学 报 Vol.53 No.18 2 0 1 7 年 9 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Sep. 2 0 1 7 DOI ：10.3901/JME.2017.18.001 厚度渐变结构介电性能测试用变间距叉指型 相邻电容传感器设计* 焦敬品 1, 2 1 1, 2 1, 2 李 亮 何存富 吴 斌 (1. 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 北京 100124 ； 2. 北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心 北京 100124) 摘要：针对厚度渐变高分子结构介电性能检测问题，设计一种变间距叉指型相邻电容传感器。研究不同叉指个数和极板覆盖 率对等间距叉指相邻电容传感器信号强度和穿透深度的影响，确定了单对叉指单元的宽度范围；研究单对叉指单元参数对相 邻电容传感器性能的影响，得到单对叉指单元传感器的穿透深度；根据待测结构厚度变化规律，对组成叉指传感器电极的单 个叉指单元的宽度和间距进行了优化设计，设计出变间距叉指型相邻电容传感器。仿真和试验结果表明，变间距叉指型相邻 电容传感器的信号强度和灵敏度优于等间距传感器，该传感器更适合渐变厚度结构材料的介电性能检测。 关键词：厚度渐变结构；相邻电容传感器；变间距叉指传感器；穿透深度；高分子材料 中图分类号：TP212 Design of Improved Interdigital Capacitive Proximity Sensor Used for Dielectric Property Detection of Thickness Gradual Changed Structure 1, 2 1 1, 2 1, 2 JIAO Jingpin LI Liang HE Cunfu WU Bin (1. College of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technology, Beijing University of Technology, Beijing 100124; 2. Beijing Engineering Research Center of Precision Measurement Technology and Instruments, Beijing University of Technology, Beijing 100124) Abstract ：Aiming at the problem of dielectric property detection of polymer materials with thickness gradual changes structure, an improved interdigital capacitive proximity sensor is