第4部分 传感器原理4-磁电-压电与热电式.pptVIP

通常把沿电轴(X 轴)方向的作用力(一般利用压力)产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y 轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z 轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 华中科技大学机械学院 测试技术与信号处理 二、压电式传感器 压电式传感器是一种可逆型换能器，既可以将机械能转换为电能，又可以将电能转换为机械能。这种性能使它被广泛用于压力、应力、加速度测量，也被用于超声波发射与接收装置。 第四节 磁电、压电与热电式传感器 在用做加速度传感器时，可测频率范围从0.1Hz ~ 20kHz，可测振动加速度按其不同结构可达10-2 ~ 105 m/s2 。用做测力传感器时，其灵敏度可达10-3 N 。 优点：体积小、质量小，精确度及灵敏度高等。 现在与其配套的后续仪器，如电荷放大器等技术性能的日益提高，使这种传感器的应用愈来愈广泛。 1.压电效应 ← 变换原理 某些物质，如石英，受到外力作用时， 不仅几何尺寸会发生变化，而且内部会被 极化，表面出现电荷，形成电场；当外力去掉时，又重新回到原来的状态，这种现象称为压电效应。 压电式传感器 压电效应是可逆的，即将压电晶体置于外电场中，其几何尺寸也会发生变化—逆压电效应 实验证明：压电效应和逆压电效应是线性的，即晶体表面出现电荷的多少与形变的大小成正比，当形变改变符号时，电荷也改变符号；在外电场作用下，晶体形变的大小与电场强度成正比，当电场反向时，形变也改变符号。 压电效应与方向 压电式传感器 2.压电材料 常用的压电材料大致可分为三类:压电单晶、压电陶瓷和有机压电薄膜。 石英是压电单晶中最具有代表性的，应用广泛。除天然石英外，还大量应用人造石英。石英的压电常数不高，但具有较好的机械强度和时间、温度稳定性。 传感技术中最普遍应用的是压电陶瓷。压电陶瓷制作方便，成本低，压电常数比单晶体高得多，一般比石英高数百倍。现在的压电元件多数采用压电陶瓷。 高分子压电薄膜的压电特性并不很好，但它易于大批量生产，且具有面积大、柔软不易破碎等优点，可用于微压测量和机器人的触觉。 压电式传感器 3.压电式传感器及其等效电路 在压电晶体的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，构成两个电极。如图所示 在压电晶体受到外力作用时， 在两个极板上将聚积数量相等、 极性相反的电荷，形成了电场。 F + q=deF d 金属板 因此压电传感器可看作是一个 电荷发生器，又是一个电容器， 其电容量为 等效电荷源 压电式传感器适宜作动态测量。 压电式传感器 + 并接 + 串接 实际压电传感器中，通常用两个或两个以上的压电晶片进行并接或串接使用。 并接：电容量大、输出电荷量多 、时间常数大，宜于测量 缓变信号，适宜于以电荷 量输出的场合。 串接：电容量小、输出电压大， 适用于以电压作为输出信 号的场合。 压电式传感器 4.测量电路 压电式传感器输出电信号很微弱，而且传感器本身有很大内阻，故输出能量很小，这给后接电路带来一定困难。 为此，通常把传感器信号先输到高输入阻抗的前置放大器，经过阻抗变换以后，方可用一般的放大、检波电路将信号输给指示仪表或记录器。 前置放大器电路的主要用途有两点：①将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出；②放大传感器输出的微弱电信号。 前置放大器电路有两种形式： ① 是用电阻反馈的电压放大器，其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比； ② 是带电容反馈的电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 ① 使用电压放大器时，放大器的输入电压如式 (3-38)所表达。由于电容 C 包括了Ca、Ci 和 Cc，其中电缆对地电容 Cc 比 Ca 和 Ci 都大，故整个测量系统对电缆对地电容 Cc 的变化非常敏感。连接电缆的长度和形态变化会引起 Cc 的变化，导致传感器输出电压u的变化，从而使仪器的灵敏度也发生变化。 压电式传感器 ② 电荷放大器是一个高增益带电容反馈的运算放大器，当略去传感器漏电阻及电荷放大器输人电阻，它的等效电路如下图(3-38)所示。由于忽略漏电阻 运算放大器的开环 增益为 A，则有 若 A足够大，则 简化为 式 (3-39)表明，在一定条件下，电荷放大器的输出电压与传感器的电荷量成正比，并且与电缆分布电容无关。因此，采用电荷放大器时，即使连接电缆长度达百米以上时，其灵敏度也无明显变化，这是电荷