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传感器技术及应用机械08 2010~2011第二学期 2011年3月 3.5 电涡流式传感器 工作原理:利用电涡流效应进行工作。 优点:结构简单、灵敏度高、频响范围宽、不受油污等介质的影响,能进行非接触测量。 应用:位移、振动、厚度、转速、温度、硬度等参数测量,无损探伤。 3.5.1 工作原理 通以交变电流 i1 的传感器线圈,其周围产生一个交变磁场H1。 使该磁场范围内的被测导体内产生电涡流 i2 i2将产生一个新磁场H2 等效电路分析 解之得: 等效阻抗Z受涡电流影响后线圈的阻抗Z 由于涡电流影响,线圈阻抗实部增大,虚部减小,变化部分称为“反射阻抗”。与互感系数M的平方成正比。 受涡电流影响,Q下降 线圈的品质因数Q 单一材料 测量原理:控制其中某一个参数改变,余者皆不变,就能构成测量该参数的传感器 3.5.2 电涡流传感器结构类型 2、透射式 组成:发射线圈L1,接收线圈L2 金属板材工件厚h 低频激励电压U1,频率f 利用感应电压U2测量板厚h 电涡流贯穿深度 测量厚板时,采用低频激励(1kHz左右) 贯穿深度t较大,线性好 3.5.3 测量电路 LRC电路 电抗X 阻抗Z 谐振X=0 3.5.3 测量电路 定频调幅电路 无工件时处于谐振,U0 接近工件时,回路失谐 传感器接入振荡器 无工件时,处于最佳Q值 测量时,L变化,谐振频率变化,品质因数Q降低 3.5.4 涡电流式传感器的应用 1、测位移 2、侧厚度 3、测温度 工作原理:被测导体的电阻率随温度变化。 电涡流传感器产品 大量电涡流程传感器 直径50mm、60mm电涡流, 量程可达25mm、50mm 一体化电涡流位移传感器 直径8mm 、11mm 前置器内置, 应用于径向振动、轴向位移、转速和偏心测量 传感器探头与前置器的连接 作业 3-1 3-6 3-7 传感器技术及应用 第3章 变磁阻式 电涡流式传感器 工作原理 等效电路 等效阻抗Z 等效电感L 品质因数Q 测量原理 结构类型 反射式 透射式 测量电路 RLC电路 定频调幅电路 变频调幅电路 调频电路 电涡流传感器应用 测位移 测厚度 测温度 * * H2与H1方向相反,力图削弱原磁场H1,从而导致线圈的电感L 、阻抗 Z 和品质因数 Q 发生变化。 列电压平衡方程: 其中被测导体短路环的阻抗: 线圈的等效电感L 导体 几何形状(S,A) 材质:?,? 线圈电感L 线圈阻抗Z 线圈品质因数Q 电流的频率 “线圈-金属导体”耦合 两者间距离 x 互感系数M, 磁路Rm 线圈的几何参数W,S,l 参数之间的关系 导体 几何形状(S,A) 材质:?,? 线圈电感L 线圈阻抗Z 品质因数Q 测距 探伤 材质检测 测厚 距离 x 被测量 电桥电路 谐振电路 Q值测试电路 1、反射式 对被测体的要求 电导率高 磁导率低 h U2 0 若两线圈间无金属导体,L1的磁场能直接贯穿L2.感应电压U2最大。 t1t2t3 t1 t2 t3 h U2 薄板测量时,宜采用较高频率激励 贯穿深度t较小,曲线斜率较大,灵敏度高 i 输出电压——变频调幅 输出频率——变频电路
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