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第四章 电感式传感器 概述 电感式传感器(Inductance sensor)是一种机电转换装置。 是利用电磁感应原理将被测电量转换成线圈自感量或互感量的变化,进而由测量电路转换为电压或电流的变化量。 可用来测量位移、压力、流量、振动等非电量信号 按传感器结构可分为: 自感式、互感式、电涡流式。 特点 结构简单、工作可靠; 灵敏度高,能分辨0. 01μm的位移变化; 测量精度高、零点稳定、输出功率较大; 可实现信息的远距离传输、记录、显示和控制,在工业自动控制系统中被广泛采用; 主要缺点有: 灵敏度、线性度和测量范围相互制约; 传感器自身频率响应低,不适用于快速动态测量。 §4-1 自感式传感器 4.1.1 工作原理 结构: 由线圈、铁芯、衔铁三部分组成。 铁芯和衔铁之间有气隙,气隙厚度为lδ ; 传感器运动部分与衔铁相连,衔铁移动时lδ 发生变化,引起磁路的磁阻Rm变化,使电芯线圈的电感值L变化;只要改变气隙厚度或气隙截面积就可以改变电感。 线圈的电感可用下式表示: 一般情况下,导磁体的磁阻与空气隙磁阻相比是很小的,因此线圈的电感值可近似地表示为 L=f(lδ)为非线性关系。当lδ=0时,L为∞,考虑导磁体的磁阻,当lδ=0时,并不等于∞,而具有一定的数值,在lδ较小时其特性曲线如图中虚线所示。如上下移动衔铁使面积S改变,从而改变L值时,则L=f(S)的特性曲线为一直线。 4.1.2 自感线圈的等效电路 假设自感线圈为一理想纯电感,但实际传感器中包括:线圈的铜损电阻(Rc)、铁芯的涡流损耗电阻(Re)和线圈的寄生电容(C)。因此,自感传感器的等效电路如下图。 4.1.3 测量电路 1、交流电桥 交流电桥是自感传感器的主要测量电路,为了提高灵敏度,改善线性度,自感线圈一般接成差动形式,如图。Z1、Z2为工作臂,即线圈阻抗,R1、R2为电桥的平衡臂。 电桥平衡条件: 设Z1=Z2=Z=RS+jωL;R1=R2=R; RS1=RS2=RS; L1=L2=L E为桥路电源,ZL是负载阻抗。工作时,Z1=Z+ΔZ和Z2=Z-ΔZ 结论 1.桥路输出电压Usc包含与电源E同相和正交两个分量。 在实际测量中,只希望有同相分量,如能使 或Q值比较大,均能达到此目的。但在实际工作时, △RS/RS一般很小,所以要求线圈有高的品质因数。 当Q值很高时, 2.当Q值很低时,自感线圈的电感远小于电阻,电感线圈相当于纯电阻(ΔZ=Rs),交流电桥即为电阻电桥。例 如,应变测量仪就是如此,此时输出电压 。 该电桥结构简单,其电阻R1、R2可用两个电阻和一个电位器组成,调零方便。 2、变压器电桥 它的平衡臂为变压器的两个二次侧绕组,当负载阻抗无穷大时,流入工作臂的电流为 带相敏整流电路 如果输入交流电压为负半周,A点电位为负,B点电位为正,二极管V2、V3导通,V1、V4截止,则在A-F-C-B支中中,C点电位由于Z2减少而比平衡时降低(平衡时,输入电压若为负半周,即B点电位为正,A点电位为负,C点相对于B点为负电位,Z2减少时,C点电位更负);而在A-E-D-B支路中,D点电位由于Z1的增加而比平衡时的电位增高,所以仍然是D点电位高于C点电位,电压表正向偏转。 同样可以得出结果:当衔铁下移时,电压表总是反向偏转,输出为负。 可见采用带相敏整流的交流电桥,输出信号既能反映位移大小又能反映位移的方向。 二、差动变压器 把被测的非电量变化转换为线圈互感量变化的传感器称为互感式传感器。这种传感器是根据变压器的基本原理制成的, 并且次级绕组都用差动形式连接, 故称差动变压器式传感器。 差动变压器结构形式较多, 有变隙式、 变面积式和螺线管式等, 但其工作原理基本一样。非电量测量中, 应用最多的是螺线管式差动变压器, 它可以测量1~100mm范围内的机械位移, 并具有测量精度高, 灵敏度高, 结构简单, 性能可靠等优点 (一)结构原理与等效电路 差动变压器的工作原理类似变压器的作用原理。这种类型的传感器主要包括有衔铁、一次绕组和二次绕组等。一、二次绕组间的耦合能随衔铁的移动而变化,即绕组间的互感随被测位移改变而变化。由于在使用时采用两个二次绕组反向串接,以差动方式输出,所以把这种传感器称为差动变压器式电感传感器,通常简称差动变压器。右图为差动变压器的结构示意图。 螺管形差动变压器根据初、次级排列不同有二节式、三节式、四节式和五节式等形式。三节式的零点电位较小,二节式比三节式灵敏度高、线性范围大,四节式和五节式改善了传感器线性度。 (二)?? 误差因素分析 1、激
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