导流型热蒸发沉积制备微球表面聚酰胺酸涂层-强激光与粒子束.pdf

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２３ ６ Ｖｏｌ．２３ Ｎｏ．６ 　 　 年 月 ， ２０１１ ６ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊｕｎ． ２０１１ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１１０６１５２７０６ 　 导流型热蒸发沉积制备微球表面聚酰胺酸涂层 黄 勇， 张占文， 刘一扬， 李 波， 陈淑芬， 漆小波 　 　 　 　 　 　 　 （中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 ６２１９００） 摘 要： 在自行研制的导流型热蒸发沉积装置上开展了微球表面聚酰胺酸（ ）涂层制备工艺研究。 ＰＡＡ 　　 　 　 探讨了单体原料处理和改变升温过程对沉积速率的影响。两种单体分别采用两个相互独立的蒸发源加热蒸 发，使用两个晶振膜厚测量探头，通过对膜厚探头、样品盘和导流管端头三者的空间位置和对称关系的调整和 实验标定，实现了两种单体近似等化学计量比的沉积。采用间歇性压电振动或敲击配合样品盘的旋转作为微 球运动的激励方式，在聚 甲基苯乙烯（ ）微球上制备出均匀的表面质量好的 涂层。  ＰＡＭＳ ＰＡＡ α 关键词： 聚酰亚胺； 聚酰胺酸； 导流型热蒸发沉积； 沉积速率； 涂层 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＬ６３９．１１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ１５２７ 　　 　 　　　　 　 　　 激光惯性约束聚变（ ）是利用高能量激光，脉冲式均匀地作用于充有氘氚燃料的微球靶丸表面，压缩氘 ＩＣＦ 　　 氚主燃料层使局部氘氚区域形成高温高密度热斑，从而达到点火条件。在高温高密度热核燃料飞散之前，进行 ［ ］ １２ 充分热核燃烧并发生聚变反应 ，从而释放出聚变能。ＩＣＦ实验使用的靶丸由作为气体燃料容器的空心微球 和球内气体组成。空心塑料微球（ＨＰＭ）是目前用于ＩＣＦ实验的主要的一类靶丸，通常要求靶丸材料在常态 下化学物理性能稳定、易成球、工艺重复性好、氢同位素渗透率低、抗氚 射线辐射性能优异等。目前多采用聚 β 苯乙烯（ ）、聚乙烯醇（ ）和等离子体聚合物 （ ）等材料做成单层球或多层复合微球，如 ＰＳ ＰＶＡ ＧＤＰ ＰＳＰＶＡ ［］ ３ ＧＤＰ三层球和ＧＤＰ微球 。随着 ＩＣＦ实验的不断