金氧半二极体电晶体及其电性讨论1.pptxVIP

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MOSFET;6.1 MOS二極體;6.1.1 The Ideal MOS Diode 理想的MOS二極體定義:;理想的MOS二極體能帶圖;理想的MOS二極體定義(續);非平衡狀態下之能帶圖(p型);非平衡狀態下之能帶圖(p型);非平衡狀態下之能帶圖(p型)(續);非平衡狀態下之能帶圖(p型)(續);非平衡狀態下之能帶圖(n型);非平衡狀態下之能帶圖(p型);空乏區寬度;空乏區寬度與摻雜濃度關係;理想MOS曲線;理想MOS曲線(C-V圖);理想MOS曲線(C-V圖);空乏情形下之CV圖;理想MOS曲線(C-V圖)(續);理想MOS曲線(C-V圖)(低頻);理想MOS曲線(C-V圖)(高頻);理想MOS曲線(C-V圖)(n型半導體);6.1.2 SiO2-Si MOS 二極體;功函數差;常用電極材料: 鋁:功函數為4.1e.v n+複晶矽:功函數為4.05e.v p+複晶矽:功函數為5.05e.v ;平帶電壓(Flat-band voltage);氧化層電荷:; ~介面陷住電荷Qit~ (interface trapped charge);~固定氧化層電荷Qf~ (fixed oxide charge);~氧化層陷住電荷Qot~ (oxide trapped charge); ~可移動離子電荷Qm~ (mobile ionic charge);;平帶電壓VFB(續);氧化層電荷對CV圖的影響;氧化層電荷對CV圖的影響(續);界面電荷對CV圖的影響;界面電荷對CV圖的影響(續);界面電荷對CV圖的影響(續);界面電荷對CV圖的影響(續);氧化層電荷與界面電荷影響之比較;6.1.3 電荷耦合元件(CCD);6.2 MOS的基本原理 基本的 MOSFET結構;6.2.1 基本特性;平衡狀態:VG=0,VDS=0;;VG 0,VDS=0;線性區;小的汲極電壓使得能帶圖變成好似斜坡,電子很容易由S到D,產生電流。;飽和區(Saturation region);飽和區(續);MOSFET 理想條件;電流電壓關係式……漸變通道近似法;電流電壓關係式(續);理想電流關係圖;此為閘極控制電流的能力;次臨限區(Subthreshold region);次臨限區(續);次臨限區(續)

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