等离子体射流快速改性促进表面电荷衰减.pdf

2017 年 8 月 电 工 技 术 学 报 Vol.32 No. 16 第 32 卷第 16 期 TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY Aug. 2017 DOI: 10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.170220 等离子体射流快速改性促进表面电荷衰减 1,2 2 1 2 2,3 林浩凡 王瑞雪 谢 庆 张 帅 邵 涛 （1. 华北电力大学电气与电子工程学院 保定 071003 2. 中国科学院电工研究所 北京 100190 3. 中国科学院大学 北京 100039 ） 摘要 随着高压直流输电迅猛发展，绝缘材料在直流电压下表面电荷积聚现象严重威胁直流 输电系统的安全可靠运行。为加快绝缘材料表面电荷的消散，采用大气压等离子体射流，以TEOS 为前驱物，在环氧树脂表面沉积SiOx 薄膜。对改性前后材料表面化学组成、表面电导率、表面电 荷特性、表面陷阱分布以及耐压特性进行多参数测量，研究等离子体射流改性前后环氧树脂表面 特性。实验结果表明：等离子体处理在环氧树脂表面引入大量以 Si-O-Si 及 Si-OH 基团为主的无 机基团，且表面电导率提高2 个数量级。随着改性时间的延长，表面电荷的初始积聚量减少，消 散速度加快，陷阱能级深度变浅；沿面闪络电压呈现先增后降的趋势，在改性 180s 时闪络电压提 高到最高值 9.0kV 。研究结果表明：通过大气压等离子体射流在聚合物表面沉积薄膜能够提高环 氧树脂绝缘性能，为其工程应用提供了有效的改性方法。 关键词：等离子体射流 薄膜沉积 表面电荷 环氧树脂 闪络电压 中图分类号：TM85 Rapid Surface Modification by Plasma Jet to Promote Surface Charge Decaying Lin Haofan 1,2 Wang Ruixue2 Xie Qing 1 Zhang Shuai2 Shao Tao2,3 （1. School of Electrical and Electronics Engineering North China Electric Power University Baoding 071003 China 2. Institute of Electrical Engineering Chinese Academy of Sciences Beijing 100190 China 3. University of Chinese Academy of Sciences Beijing 100039 China ） Abstract With the rapid development of high voltage DC (HVDC) transmission in China, the surface charge accumulation under the DC voltage has been a serious threat to the safety and reliable operation of HVDC system. In this paper, an atmospheric pressure plasma jet was introduced to deposit SiOx films on epoxy resin surface to accelerate the dissi