绝对检验参考镜误差分析与热变形模型建立.pdf

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， ３１ ２ Ｖｏｌ．３１ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１１ ２ 犉犲犫狉狌犪狉 ２０１１ 犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃 狔 绝对检验参考镜误差分析与热变形模型建立 ， １２ １ ３ １ １ 陈 旭 袁文全 冯玉涛 王 平 刘伟奇 　 　 　 　 　 　 １中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，应用光学国家重点实验室，吉林 长春 １３００３３ 烄 烌 ２中国科学院研究生院，北京 １０００４９ ３中国科学院西安光学精密机械与物理研究所，光谱成像技术重点实验室，陕西 西安 ７１０１１９ 烆 烎 摘要 绝对检验是提高菲佐（ ）型干涉仪参考面面形精度的重要方法。研究了过程中温度、重力和夹持力对 Ｆｉｚｅａｕ 　 绝对检验精度的影响。采用 拟合方法对参考面面形的变形量进行了拟合，分析了 、融石英和微 ＧｒａｍＳｃｈｍｉｄｔ Ｋ９ 晶材料的参考镜均匀温度变化下的热变形及由于热变形导致的相应泽尼克（ ）系数的变化。最后，分析了变 Ｚｅｒｎｉｋｅ 形量对应的面形误差，建立了每种材料的热变形模型。结果表明，经过重力、夹持力和温度三者的叠加耦合，温度 变化产生的变形量与温度变化量仍呈近似的线性关系。在相同的外界条件下，融石英材料产生的整体变形量最 小；而微晶材料产生的热变形量最小。微晶参考面由于热变形产生的面形变化量均方根为 ／ 。 ０．３７ｎｍ ℃ 关键词 绝对检验；热变形模型；泽尼克拟合； 拟合 ＧｒａｍＳｃｈｍｉｄｔ 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４３９ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犃犗犛２０１１３１．０２１２００２ 　 　　　 　 　　　 犛狋狌犱 狅犳狋犺犲犈狉狉狅狉狅犳狋犺犲犚犲犳犲狉犲狀犮犲犔犲狀狊犻狀犃犫狊狅犾狌狋犲犛犺犲狉犻犮犪犾 狔