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大连理工大学 硕士学位论文 MOCVD法制备ZnO:Ga透明导电薄膜及特性研究 姓名:迟景阳 申请学位级别:硕士 专业:微电子与固体电子学 指导教师:杜国同 大连理工大学硕士学位论文 ［３９］崔勇国．采用ＭＯＣＶｌ）方法在Ｓｉ和ＧａＡｓ衬底上生长ＺｎＯ薄膜及其特性研究．博士论文．吉林大 学２００６．６ —４１— ＭＯＣＶＤ法制备ＺｎＯ：Ｇａ透明导电薄膜及特性研究 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 Ｃｈｉ ｊｉｎｇｙａｎｇ，Ｌｉ ｘｕｅ，Ｃｈｅｎｇ ｙｉ，Ｌｉａｎｇ ｈｏｎｇｗｅｉ，Ｚｈａｏ ｇｕｏｔｏｎｇ．Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｇａ ｄｏｐｅｄ ＺｎＯ ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ ｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ ｊｉａｎｚｅ，Ｓｕｎ ｊｉｎｇｃｈａｎｇ，Ｈｕｌｉｚｈｏｎｇ，Ｄｕ ｆｉｌｍｓ．中国科技论文在线 ２００９０５－６９３．（本硕士论文第三章） 一４２— 大连理工大学硕士学位论文 致 谢 本论文是在杜国同教授的悉心指导下完成的。杜老师渊博的知识，敏捷的思维，高 度的敬业精神，对科学的献身精神以及严谨的治学态度使我受益终生。杜老师对实验方 向的把握和对问题的处理，特别是对问题解决方法的多样性让我受益匪浅。无论是在论 文的选题，实验的进展以及实验中遇到困难的解决，都离不开杜老师亲切的指导。杜老 师时刻关心着研究的进展和我们未来的发展，并给予了无私帮助。在此，向明灯般照亮 我的未来发展道路的杜老师致以最衷心的感谢和深深的敬意。 梁红伟老师在我实验前期准备，实验中的问题探讨，实验结果的讨论和发表，以及 此次论文的方法和修改等等诸多方面给予了非常具体的指导，梁老师对科学的执著和对 对工作的认真深深地感染了我，梁老师广阔的思维和敏锐的洞察力在实验过程中无数次 给予了我强力的帮助。梁老师对我的关心与帮助我永远都不会忘记。 孙景昌师兄和赵涧泽师兄无论是在实验仪器的实际操作，还是在实验过程中的理论 分析和困难的解决，抑或是实验仪器的维修，乃至日常事务的打理等各个方面都对我给 予了巨大的帮助。两位师兄的踏实肯干的作风、勤奋求实的敬业精神、敏锐的头脑和扎 实的专业知识深深地震撼了我。 由衷感谢同组的程轶师姐和李雪同学。程轶师姐和李雪同学在我的实验过程中给予 了很大的鼓励，让我在寂寞的求学路上感到一丝温暖的关怀。在此，程轶师姐和李雪同 学致以深深的谢意。 由衷感谢赵宇老师、骆英民老师、梁秀萍老师和刘艳红老师在实验和精神上给予的 帮助。 由衷感谢赵子文师兄，申仁升师兄霍炳至师兄在实验上给予的帮助。 由衷感谢柳阳同学和翟常文同学陪我度过三年的研究生生活。 由衷感谢同寝室的王元磊同学对我生活的关心。 最后感谢我的父母在我多年求学历程中给予我的全力支持和关爱。