传感器技术及应用-气体成分及湿度的测量概述.ppt

任务二 使用湿敏传感器检测湿度 二、湿敏电阻的类型 湿敏电阻按照感湿层所用材料不同，又分为氯化锂、金属氧化物、硫酸钙、碘化物等多种形式。目前应用较多的是金属氧化物半导体陶瓷湿敏电阻，其中半导体陶瓷湿敏电阻按结构可分为烧结型和涂覆膜型两大类。 烧结型金属氧化物半导体材料一般为多孔结构的多晶体，其结构不甚紧密，各晶粒之间带有一定的空隙，呈多孔毛细管状，因而水分可以通过陶瓷材料中的细孔，在各晶粒表面和晶粒间界面上吸附，且在晶粒间界面处凝聚。由于晶粒间界面处的接触电阻是陶瓷整体电阻的主要部分，使材料的电阻率下降。因此，利用这一特性就可以实现湿度检测。 1. 烧结型湿敏电阻 * 任务二 使用湿敏传感器检测湿度 二、湿敏电阻的类型 铬酸镁—二氧化钛陶瓷湿敏传感器随着湿度的增加，电阻值急剧下降，基本上按负指数规律变化，其电阻—湿度特性，如图所示。 * 任务二 使用湿敏传感器检测湿度 二、湿敏电阻的类型 2. 涂覆膜型湿敏电阻 涂覆膜型湿敏电阻，是由金属氧化物粉末或某些金属氧化物烧结体研磨成的粉末，通过一定方式调和，然后喷洒或涂覆在具有电极的陶瓷基片上制成的。由于粉粒之间结构松散，相互之间具有极大的接触电阻，在总体电阻中起主导作用。这种松散的结构使其粉末具有很大的准自由表面，这些表面非常有利于水分子附着，特别是粉粒与粉粒之间不太紧密的接触处更有