多晶薄膜表面粗化与生长方式转变!.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 )( ’ ’$$ ’ ， ， ， WK7 .)( VK .’ D?XP;5PE ’$$ （ ） #$$$4*’$,’$$,)( $’ , ###$4$( N0SN RJTHU0N HUVU0N !’$$ 0O6B . ROE+ . HKA . %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% 多晶薄膜表面粗化与生长方式转变! 杨吉军 徐可为! （西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安 #$$% ）