以矽基蚀刻角锥特徵进行LED侧光整合式导光板的最佳化设计.pdfVIP

中國機械工程學會第二十六屆全國學術研討會論文集 國立成功大學 台南市 中華民國九十八年十一月二十日、二十一日 論文編號 :D15-019 以矽基蝕刻角錐特徵進行LED側光整合式導光板的最佳化設計 陳宗男、張簡少棠、余志成 * 國立高雄第一科技大學機械與自動化工程系 經濟部在地型產業加值學界科專計畫編號：97-EC-17-A-07-S1-108 國科會計劃編號： NSC 97-2221-E-327 -011 -MY2 摘要 微特徵的尺寸與密度分佈影響導光板的亮度與 均齊性，多數的導光板設計有專利保護，均勻或隨機 本文應用非等向性矽基濕式蝕刻於整合式導光 微特徵分佈為最基本的設計 [5] 。因為反射的光線與 板的設計與製造，配合具有蝕刻深度終止層的 SOI 特徵密度成比例，因此也有文獻提出以一維線性或曲 矽基板，可製作出高精度的截頂角錐狀微特徵結構， 線方式進行特徵密度分佈 [6] ，特定的分佈曲線雖然 以作為模仁薄板取代之電鑄起始層，利用蝕刻精準特 簡化了分佈設計，卻限制輝度均齊性的最佳化。另一 性，製作出高精度且高重複性的鎳基薄板取代。並分 方面，因為LED 光源則需考量二維的佈點設計，有些 析角錐方位與與入光稜鏡面設計之光學性質，發現 研究將將導光板劃分為很小且特徵均佈的區塊，再使 90°LED 入光稜鏡面配合 45轉向之角錐，其出光角° 用最佳化的方法來搜尋每個區塊的最佳密度設計 度分佈具有對稱與軸向集光的特性。文中以 3.5吋 [4][7] ，或有藉由模糊最佳化的方式，進行佈點密度 LED 光源導光板作為載具，應用Fuzzy最佳化來進行 的自動化 [3] 。 微特徵的分佈，藉由區塊間的平均輝度差異，自動調 導光板的製造方式分為印刷式與非印刷式，印 配微特徵間距疏與密，以提升整體的照度均齊性，因 刷式導光板是將高分子網點印刷在基板上，非印刷式 所提出的微結構出光特性與特徵密度分佈，可不藉由 則是將微光學特徵設計以射出或熱壓的方式一體成 下擴散與稜鏡光學膜片，而達到提升軸向光強度的目 形。非印刷式導光板通常有較優異的光學表現，一般 的。此整合式導光板的設計，可達到薄形化、高輝度 可分類為噴砂、模仁蝕刻、微切削與 LIGA-like模仁。 及低成本的目標。 噴砂的方式因無法精準定位且再現性低，造成光學特 關鍵字：非等向矽蝕刻、整合式導光板、模糊最 性表現不佳。以高速鑽石切削製造V型溝槽模具，因 佳化。 具有優異的光學特性與尺寸精度，成為目前業界研究