光学薄膜制程技术介绍.pptVIP

光學產業裡的薄膜光學 簡瑞耀 起源 - 折射定律 snells law 司乃耳定律：光於不同物質中，入射角與折射角的關係 折射現像 光從一種介質傳播到另一種具有不同折射率的介質時 薄膜的作用—對光的反應 干渉現像 穿透，反射 照相機 增透膜 吸收 建築玻璃，隔熱膜 光電反應 太陽光發電 薄膜的應用 --台灣 1985 近視眼鏡 太陽眼鏡 反射鏡 裝飾膜 光碟片 薄膜的應用 --台灣 1990 照相機 抗反射膜, 增透膜 反射鋁鏡 半透鏡 紅膜望眼鏡 薄膜的應用 --台灣1993 掃描器 透明導電玻璃ITO TN 顯示器 CSTN 顯示器 LED 抗電磁輻射膜 EMI 光碟機 薄膜的應用 --台灣1996 投影顯示器 TFT顯示器 數位相機 手機 監視器 手機相機 太陽光發電 投影顯示器from 3LCD.com 數位相機 IRCutter 紅外線濾光片 防止熱雜訊干擾CCD感測器 薄膜的應用 --台灣 2000 光通訊用 DWDM 高密度波長多工分工濾波片 薄膜的應用 --台灣 2003 太陽光發電 矽晶太陽光電池 矽薄膜太陽光電池 CIGS 太陽光電池 薄膜的應用 --台灣 2007 電容式觸控瑩幕 AF 抗指紋膜 玻璃 CNC 加工 玻璃強化技術 微投影系統 2009 3D 掃描系統 - 2010 2D + 1D 深度感測的技術 深度感測的技術 產碩班 IphoneX的人臉辨識功能(Face ID)-2014 圖像捕捉 生物感測 紅外線打光 鏡頭取像 鍍膜(紅外線影像擷取) 光點陣列圖像晶片 感測取像零組件及加工設備 紅外窄波濾光片功能 只讓投射的940nm雷射光進入紅外線鏡頭 避免其它雜訊光干擾 鍍膜技術及工業產品發展 太陽光發電 技術層次 裝飾性產品 太陽眼鏡 光學鏡頭 數位相機 投影電視 光碟片 光纖通訊 1980 ~~~~2020產品應用時程 觸控瑩幕 AF 膜 3D 影像濾光片 薄膜製程技術發展- PVD 高真空系統 1x10-5 torr 熱蒸鍍 Thermal evaporation 熱能轉換 離子輔助蒸鍍 IAD 熱能轉換，離子動能輔助 濺鍍 Sputtering 動能轉換 高真空系統 1x10-5 torr 粗抽泵 RP 760~1 torr 輔助泵 BP 1~10-2 torr 油擴散泵 DP 10-2~10-7 torr 低溫冷凍機 Polycold 水氣 熱蒸鍍 Thermal evaporation 熱能轉換 鵭舟蒸發源 Thermal Boat 電子鎗蒸發源 E Beam Gun 真空室設備 A：?????内径???? LP 1300EBA A ：φ1300mm　 B ：1580mm A 蒸着用電子鎗（EB） 真空蒸室 加熱 B 基板支架 視窗 膜厚計 熱蒸鍍 Thermal evaporation 離子輔助蒸鍍 IAD 從太空船推進器 IAD E Beam Gun 離子輔助蒸鍍 IAD 從太空船推進器 濺鍍 Sputtering 直流濺鍍 DC Sputtering 金屬材料 交流濺鍍 AC Sputtering 介電質材料 高頻濺鍍 RF Sputtering 介電質材料 濺鍍 Sputtering 離子輔助濺鍍 高速薄膜沉積 高穩定性的薄膜厚度控制 薄膜未來 真空設備成本降低 更完美的薄膜 薄膜應力可隨意控制 完成無particle 薄膜未來 奈米效應 相關產業 光學產業 台灣之光 大立光，玉晶光….. 光學薄膜產業 真空成膜設備 謝謝!