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直腔泵和凸腔泵抽速系数的对比研究 直腔泵和凸腔泵抽速系数的对比研究龚建华，郑永合肥工业大 学精仪系，安徽合肥射流界面增大以及泵壳的特殊形状使得泵的抽速 系数比臣腔型扩散泵提高。计算结果符合般规律。 42文献标识码油扩散泵足通过处于分了态下的被抽气体分产 扩逃入高违定向运动的油蒸汽内，由动量传递而被携带至前级来完成 抽气作用的。由于在分子态下，某压力的气体单位时间碰撞到单位壁 面上的分子数是恒定的，从而任压力下单位时间通过泵口平面的气体 体积也是恒定的，这就是所谓的扩散栗的理论抽速59然而由尸种种 说因。使得窄位间进入泵内的气体不能被完全抽除，实际抽走的部分 称为实际抽速5实际抽速和理论抽速之比，就是著名的何氏系数7, 或称抽速系数决定抽速系数的因素有机理方面的，也有结构方面的。 气体分子在油蒸汽界面层内和蒸汽分子的相0作用的机制6个复杂的 问而凸腔泵的抽速系数明显高于径的腔泵则是个结构因素的典型例 了，本文将针对泵体结构对抽速系数的影响展开些讨论首先描述下进 入栗口的气体分子的运动象被抽气体分子旦进入栗口其后续行为是 在栗的内壁面与蒸汽射流界面之间的空间作碰撞反射的热运动当碰 撞在蒸汽射流界面上时，与蒸汽分子作用不符其机制如何复杂。结果 是扩进入蒸汽射流内部而被携带到前级，便是返回原空间袭过碰撞可 能次进蒸汽界面。亦或出泵1?由此以体会抽速系数的意义当把1中如; 1的直腔型的泵体