TFT-LCD制造流程技术教案.pptVIP

TFT-LCD產品的基本構成元件 基本構造 背光板(BACK LIGHT) 下偏光片(DOWN POLARIZER) 薄膜基板(TFT SUBSTRATE) 液晶(LIQUID CRYSTAL) 彩色濾光片(COLOR FILTER ) 上偏光片(UP POLARIZER) TFT-LCD 構造剖面圖 下偏光片 薄膜(TFT)基板 液晶 電晶體 彩色濾光片 上偏光片 線路 TFT-LCD 的顯示原理 ( 一 ) TFT-LCD的顯示原理 ( 二 ) ~ ~ 彩色濾光片 上偏光片 下偏光片 背光源 TFT基板 液晶層 TFT Turn OFF TFT Turn ON 光源經液晶層扭轉90° TFT-LCD的顯示原理 ( 三 ) 彩色濾光片 上偏光片 下偏光片 光源 TFT基板 液晶 TFT-LCD 的驅動原理 紅 藍 綠 黃 白 紫 青 DATA DRIVER IC SCAN DRIVER IC TFT R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B TFT(Array) Thin-Film Transistor LC(Cell) Liquid Crystal LCM Module Array:電晶體 (矩形陣列 ) TFT基板生成 Cell:面板生成 (Panel) Module:產品模組 組裝 製造流程概述 ( 一 ) 製造流程概述 ( 二 ) 薄膜 Thin Film 黃光 Photo Color Filter OK 蝕刻 Etch 測試 Array Test 基板投入 CELL TFT Process TFT的製造流程概述 ( 一) BOX 5道光罩 薄膜 黃光 蝕刻 素玻璃 TFT 基板 鍍膜(sputter,cvd) 上光阻(coater) 光罩(reticle) 顯影(developer) 顯影 液 對準,曝光(stepper) 蝕刻(etch) 去光阻液 stripper 去光阻 酸, 氣體 鍍 下 一 層 膜 TFT的製造流程概述 ( 二 ) 上光阻(coating) 鍍第一層膜 空白玻璃 酸, 氣體 光罩 對準,曝光(stepping) 顯影 液 顯影(developing) 蝕刻(etching) TFT的循環製程圖解 1 顯 影 去光 阻液 去光阻(striping) 鍍第二層膜 上光阻 對準,曝光 光罩 顯影 液 酸, 氣體 蝕刻 TFT的循環製程圖解 2 去光 阻液 光阻剝離 鍍第三層膜, 請依之前所 示範的方法 舉一反三,自 行模擬想像 TFT的循環製程圖解 3 CELL的製造流程概述 ( 一) TFT 基板(TFT Substrate) 彩色濾光片 (Color Filter) CELL的製造流程概述 ( 二 ) PI 塗佈 PI Coating PI 塗佈 PI Coating 配向 Rubbing 配向 Rubbing Spacer灑佈 Spacer Spray 框膠 Sealant Dispenser 點銀膠 Ag Dispenser 對位 Misalignment 熱壓 Hot press 切割裂片 Scribe Break 液晶注入 LC injection 封口 End sealing 再配向 Isotropic 偏光片貼片 Polarizer Attachment 加壓脫泡 Auto Clave Cell 測試 Cell test TFT CF 穿透式TFT LCD側視圖 Printed circuit board Prism sheet 偏光板 TFT 框膠 TAB Driver LSI 擴散板 Spacer 分光片 反射板 側光 偏光板 畫素電極 儲存電容 液晶 配向膜 共通電極 Overcoat Color filter Black matrix 玻璃基板 螢光灯泡 背光模組 偏光板 偏光板 TFT Array 液晶層 Color Filter TFT-LCD的剖面圖 畫素結構圖 何謂畫素(Pixel)? 610 mm 720mm 顯示色彩學 ( 一 ) 畫素(PIXEL) ★構成螢幕上所有顏色的單位 主要以三元色為主( 紅、綠、 藍 ) ★其中紅、綠、藍三色則稱為子畫素 畫素 子畫素 彩色濾光片 Color Filter 紅 藍