柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究.docVIP

第2期2008年4月 文章编号:1003 8213(2008)02 0043 05 微细加工技术 MICROFABRICATIONTECHNOLOGY 2Apr ,2008 柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究 吴义伯1*,邢玉梅1,倪鹤南1,徐爱兰1,惠 春2*,任秋实2,李 刚3 (1 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030;2 上海交通大学生命科学技术学院,上海200030;3 中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室,上海200050) 摘要:采用聚对二甲苯( parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料 等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2 8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。 关 键 词:微电极阵列;聚对二甲苯;微加工工艺;柔性基底;视网膜修复中图分类号:TN305 文献标识码:A 1 引言 当今,全世界大约有1000万人患有视网膜变性 疾病,如老年性黄斑病变(AMD)或视网膜色素变性(RP)等疾病,这些疾病会引起视网膜感光细胞丧失而导致失明。研究表明,即使光感受器被完全破坏,经过长时间的失明,黄斑部内层视网膜组织多数都保持完好,大部分神经元依然存在,并能成功地传导和处理适当的电刺激信号[2