材料分析电子探针显微分析.pptVIP

2. 能谱仪分析特点 具有以下优点（与波谱仪相比） 能谱仪探测X射线的效率高。其灵敏度比波谱仪高约一个数量级。 在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。 结构简单，稳定性和重现性都很好（因为无机械传动） 不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。 具有以下缺点和不足： 分辨率低：Si(Li)检测器分辨率约为160eV；波谱仪分辨率为5－10eV 能谱仪中因Si(Li)检测器的铍窗口限制了超轻元素的测量，因此它只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。 能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。 6.2 电子探针仪的分析方法及应用 6.2.1 定性分析 定点分析： 线分析： 面分析： 6.2.2 定量分析 1. 定点分析： 将电子束固定在要分析的微区上 用波谱仪分析时，改变分光晶体和探测器的位置，即可得到分析点的X射线谱线； 用能谱仪分析时，几分钟内即可直接从荧光屏（或计算机）上得到微区内全部元素的谱线。 2. 线分析： 将谱仪（波、能）固定在所要测量的某一元素特征X射线信号（波长或能量）的位置 把电子束沿着指定的方向作直线轨迹扫描，便可得到这一元素沿直线的浓度分布情况。 改变位置可得到另一元素的浓度