微波与等离子体下的无际合成10.ppt

下图则是一种微波等离子体辅助CVD反应器，利用此反应器成功地在非常低的基片温度（约100度）下沉积出质量很好的氧化硅膜。稍加修改后，也可用于其他合成化学反应。 10.2.4微波等离子体的应用 1.微波等离子体快速制备光导纤维 2.微波等离子体做强功率激光的高效激发泵源 3.MPCVD制造太阳能电池薄膜 4.MPCVD制造Tc超导薄膜 5.微波等离子体刻蚀技术 6.MPCVD合成金刚石薄膜 7.低功率微波等离子体合成氨 8.低功率微波等离子体合成氮氧化物 9.微波等离子体合成与制备聚合物膜和无机膜 这也是等离子体化学中需要重点加以研究解决的一个课题。目前采用的主要方法是淬灭法，即在反应产物形成后，让等离子体淬灭(如突然降温，离心分离等等)，使产物不致发生负反应或逆反应，而获得所需的产物，但迄今为止只取得有限的成功。 微波等离子体化学 等离子体定义 等离子体特点 等离子体分类 等离子体主要基元反应 微波等离子体的优点 微波等离子体产生装置 微波等离子体在合成中的应用 等离子体 等离子体的特点 等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正离子、负电子组成的离子化气体状态物质。 等离子体是除去固、液、气态外物质存在的第四态。（高度电离、宏观上呈中性） 等离子体和普通气体不同 1.等离子体是良好的导电体，可以被磁场捕捉、移动、加速。 2.等离子体中，粒子之间的库伦力是长程力。 描述等离子特征的两个重要参数 Ⅰ.德拜长度，它由式下式决定： 式中：ε。——真空介电常数， ne ——电子密度，Tc——电子温度。 德拜长度是等离子体电中性条件成立的最小空间尺度，只有等离子体的空间长度L远大于德拜长度(即L》λD)，一种电离气体才能称得上是物质第四态的等离子体，否则它就不成其为等离子体，而仍然属于气体。λD值与各类平均自由程和反应器大小的比值决定了放电行为。 振荡周期是等离于体电中性条件成立的最小时间尺度，只有等离子体其存在时间τ》τp(或τωp》1)才能成为具备自己特有性质和行为的等离子体，否则仍属于气体。 所谓等离子体是满足(L》λp， τωp》1)这些条件，在宏观上呈电中性的电离气体。 当ne在109一1015范围内，相应的等离子体振荡频率就落在微波频段内 若把微波加到气态物质中，在一定条件下，形成的电离气体(例如电离度＞0.1％)称为微波等离子体。 Ⅱ.等离子体振荡频率ωp(或振荡周期τp)，由下式确定： 等离子体的分类 等离子体一般可分为两种类型：热等离子体(或称高温等离子体)和冷等离子体(或称低温等 离子体)。 高温等离子体(如焊弧、电弧炉、等离子体炬等) 粒子的激发或电离主要通过碰撞实现(当ne≥1016cm-3时即可满足这一要求)。 另外，等离子体性质的空间变化(梯度)也很小，体系的动力学温度、激发温度和电离温度都相等。 低温等离子体(如辉光放电和等离子体刻蚀以及等离子体辅助化学气相沉积中所遇到的情况)中，离子和电子间的碰撞频率要小得多，所以电子的能量(即温度Te)比重粒子(包括离子和气体分子)Th高很多(Te》Th)。微波等离子体属于低温等离子体，具有如前所述许多独特的优点。 微波等离子体的优点 微波激发产生的等离子体较之常规的直流和高频等离子体有许多独特的优点： 电离度高，电子浓度大； 电子和气体分子的温度比Tc/Tg很高，即电子动能很大而气体分子却保持较低的温度，这为实现低温条件下化学气相沉积提供了良好的条件； 适应气体压强很宽； 无极放电避免了电极污染； 微波的产生、传输、控制技术已十分成熟．为等离子体的控制提供了很有利的条件等。 2.2 等离子体中的主要基元反应 1. 电离 2 .激发 3 .复合过程 4 .附着和离脱 1. 电离 由于微波等离子体属于低温等离子体，其重粒子温度相当低，而电子温度很高。高能电子与分子碰撞的结果将产生一系列活化组分，其中电离是形成等离子体时必不可少的基元过程。主要的电离过程有： 电子碰撞电离 亚稳态粒子的作用及Penning电离 离子碰撞电离 光电离 * (1)电子碰撞电离 式中，A代表气态原子或气态分子。作为入射粒子的自由电子经碰撞传能后速度降低。电子碰撞电离是等离子体中产生带电粒子的主要源泉。 电子碰撞电离的进一步分类 由于电离机制不同，又可将电子碰撞电离分为： ①直接电离：直接电离是一种最普遍的电离方式，因而具有代表性。 ②离解电离：多原子分子还可能发生离解电离。 ③累积电离：如果一种分子先被激励成激发态，再经电子碰撞而电离则称为电子碰撞累积电离。