粒子束和材料相互作用.pptVIP

第三章 粒子（束）与材料的相互作用 第一节 电子束与材料的相互作用 第二节 离子束与材料的相互作用 * 第一节 电子束与材料的相互作用 一、散射 二、电子与固体作用产生的信号 三、电子激发产生的其它现象 * 入射电子照射固体时，与固体中粒子的相互作用包括： （1）入射电子的散射； （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播。 * 一、散射 当一束聚焦电子沿一定方向射到固体上时，在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，这种现象称为（电子）散射。 有散射弹性和非弹性散射之分。 原子中的原子核和核外电子对入射电子均有散射作用。 对比：物质对X射线的散射 * 瞄准距离 散射角 核电荷数或原子序数 注意：电子经过原子核和电子时偏转方向不同! 入射方向与散射方向之间的夹角 电子入射方向与原子核或电子之间的距离 电子衍射及成像的基础 电子散射示意图 与原子核作用 与核外电子作用 * 1. 原子核对入射电子的散射 有弹性散射和非弹性散射。 散射损失的能量 散射角（2?）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 非弹性散射损失的能量?E转化为X射线，它们之间的关系是 式中，h是普朗克常数，c是光速，?及?分别是X射线的频率与波长。