纳米材料检测工作与分析技术应用.ppt

2.分类（Wavelength Dispersive Spectrascopy, Energy Dispersive Spectroscopy） 通常把电子显微镜和电子探针组合在一起，兼具微区形貌和成分分析两个功能。 用来测特征波长的谱仪叫波长分散谱仪，WDS波谱仪。检测系统是X射线谱仪。 X射线在样品表面1微米至纳米数量级体积内激发出来，在样品上方放置一块分光晶体，用接收器接收。符合布拉格方程 2dsinθ = nλ，则发生强烈衍射。可分析原子序数4-92元素，只能逐个元素分析。 用来测定X射线特征能量的谱仪叫能量分散谱仪。（EDS能谱仪） X射线特征波长的大小取决于能级跃迁释放的特征能量。光子用锂漂移硅检测器收集，当光子进入检测器后，在晶体内产生一定数量的电子空穴对。产生空穴对的最低能量是一定的，光子能量越高，电子空穴对的数量越多。 可分析〉10的元素。可以在几分钟内分析所有元素。检测极限10-16克，分析深度0. 5-2微米。 波长分散谱仪WDS 3．应用 1）定点分析： 固定电子束在某微区样品，得到X射线谱线，可知全部组成元素。 如一种合金钢，Si：Mn：Cr：Ni：V：Cu=0.62：1.11：0.96：0.56：0.26：0.24 (L→K= Kα线)(M→K=Kβ，M→L=L) 波长分散谱图 示意图 2）线分析： 将波谱仪或能谱仪固定在某一元素特征X射线信