半导体材料--硅和锗的化学制备-(公开课件).pptVIP

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  • 2019-12-09 发布于广西
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半导体材料--硅和锗的化学制备-(公开课件).ppt

1 第一章 硅和锗的化学制备 1.1 硅和锗的物理化学性质 Si、Ge——元素周期表中第Ⅳ族元素 Si——银白色 Ge——灰色 晶体硬而脆 二者熔体密度比固体密度大,故熔化后会体积收缩(锗收缩5.5%,而硅大约收缩10%) 2 3 4 5 室温下,Si,Ge比较稳定,与空气、水、弱酸、都无反应,但可与强酸、强碱作用。 高温下,化学活性大,可与氧、卤素、卤化氢等物质反应,生成相应的化合物。 自然界,Si —SiO2和硅酸盐 SiO2特性:坚硬、脆、难熔的无色固体,膨胀系数小,熔点为 1600℃,抗酸(除HF外),用做器皿(半导体工业中)。 GeO2特性:有两种晶型 正方晶系金红石型(熔点1086±5 ℃) 六方晶系石英型(熔点为1116±4 ℃) 1035 ℃ 可互相转化 6 此外,存在非晶态的GeO2。 SiO2和GeO2用H2,C可还原为黑色树脂状的SiO和淡黄色无定型的 GeO (700 ℃时易挥发)。 1、Si和Ge与卤素或卤化氢反应式 还可制取低价卤化物 7 SiCl4、SiHCl3、SiH4的物理化学特性见表1.2 8 9 4、硅(锗)镁合金与无机酸或卤氨盐作用制硅(锗)烷 3、烷烃化合物 Si(Ge)H2n+2 10 5、SiH4特性:   (a) 活性高,空气中自然,固态硅烷与液氧混合在-190℃低温下也   易发生爆炸. (b)易与水、酸、碱反

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