快速响应SOI马赫曾德热光调制器.docVIP

第23卷第5期半导体学报 VOl . 23 NO . 52002年5月 C~INESEJOURNAL OF SEMICONDUC ORS May = ================================================================ 2002 %国家自然科学基金(批准号,69990540D 国家科技部~973 计划(NO . G 2000-03-66D 资助项目魏红振 男 1969年出生 博士 主要从事集成光波导耦合器与光开关的研究. 2001-09-12收到 2001-12-26定稿 c 2002中国电子学会快速响应SOI 马赫曾德热光调制器% 魏红振1余金中1夏金松1严清峰1刘忠立1房昌水2 (1中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室 北京 100083D (2山东大学人工晶体研究所 济南 250100D 摘要, 给出了Y 分支MZI 热光调制器的模型 实验研制了基于SOI (SilicOH -OH -iHSulatOr D 的MZI 热光调制器 调制 器的消光比为-16. 5dB 开关的上升时间为10pS 下降时间为20pS 相应的功耗为0. 39W . 关键词, 集成光学; 调制器; SOI ; 热光开关EEACC , 1250中图分类号, N 36 文献标识码, A 文章编号, 0253-41