第七章 硅薄膜材料.pptVIP

第七章 硅薄膜材料 提 纲 7.1 非晶硅薄膜材料 非晶硅薄膜的特征及基本性质 非晶硅薄膜的制备 非晶硅薄膜的缺陷及钝化 7.2 多晶硅薄膜材料 多晶硅薄膜的特征和基本性质 多晶硅薄膜的制备 多晶硅薄膜的晶界和缺陷 * * 之特征及基本性质 ①材料和制造工艺成本低 首先非晶硅薄膜太阳电池采用廉价的衬底材料上，如玻璃、不锈钢、塑料等；其次，其薄膜仅有数百纳米厚度；最后，非晶硅的规模生产的能耗小。以上三点均可以大幅度降低成本。 ②易于形成大规模生产能力 ③多品种和多用途 ④易实现柔性电池 非晶硅可以制备成轻型、柔性太阳电池，易于和建筑集成。 非晶硅薄膜太阳能电池的优点 柔性太阳能电池 非晶硅薄膜太阳能电池的不足 在实际生产线上其效率不超过10% 及稳定性较差 之特征及基本性质 薄膜非晶硅的基本特征和性质 1）非晶硅的原子在数纳米甚至更小的范围内呈有限的短程周期性的重复排列，但从长程结构来看，原子排列是无序的。 2）共价键显示连续的无规则的网络结构。 3）其物理性质具有各向同性 。 4）非晶硅中室温下其电阻率很高。 5）非晶硅的禁带宽度为1.5eV，且在一定程度上可调。 6）非晶硅的密度、电导率、禁带等性质可以连续变化和调整 。 7）在合适的热处理条件下，非晶硅可以转化为多晶硅、微晶硅和纳米硅 。 非晶 晶体 多晶 问题 之制备 非晶硅薄膜制备的