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（1）波谱仪 (Wavelength dispersive spectrometer, WDS ) 在电子探针中，X射线是由样品表面以下?m数量级的作用体积中激发出来的，如果这个体积中的样品是由多种元素组成，则可激发出各个相应元素的特征X射线。 波谱仪全称为波长分散谱仪(WDS)，是检测X射线波长分布及其强度的装置。 ( ) 波谱仪是用分光晶体将X射线波长分散开来分别加以检测，每一个检测位置只能检测一种波长的X射线。 （2）能谱仪 (Energy dispersive spectrometer, EDS) 能谱仪(能量分散谱仪, EDS) 与波谱仪不同，它是按X射线光子能量展谱的。 由于不同元素的特征X射线能量不同，所以通过检测试样中不同能量的特征X射线，即可进行元素的定性分析。 氧化物的X射线能谱图 能量 强度 (或计数) 与波谱仪相比，能谱仪具有如下优点： (1)能谱仪的检测效率高，因为能谱仪探头可安放在样品分析点附近，可有效提高收集立体角； (2)能谱仪分析速度快，因为能谱仪可同时检测接收不同波长的X射线； (3)能谱仪稳定性和重复性较好，因为能谱仪无机械传动装置； (4)能谱仪对样品表面无特殊要求，也可用于粗糙表面的成分分析，因为能谱仪不需样品聚焦。 能谱仪成分分析的特点： 与波谱仪相比，能谱仪有如