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应用Avantage 软件进行XPS 谱图处理步骤 一、 打开处理软件 双击桌面上Avantage 图标 二、 载入谱图数据 Open files ——选择需要处理的 vgp.格式的数据文件,打开相应的XPS 谱图。 三、 XPS 谱图处理 1. 荷电位移(Charge Shift a. 先用鼠标指针选中C1s 谱图,读出当前C1s 谱图上C —C 键的C1s 结合能位置,以C1s=284.8eV 为参考值,记录下当前的荷电位移。 b.选中所有XPS谱图(包括Survey谱图及元素的窄扫谱图,即点击谱图框左上角的小 方块。 c.对XPS谱图进行荷电位移:选择工具栏中的“charge shift”图标,在弹出 的窗口中选中“shift by amount”,然后在“shift by:”中输入荷电位移值,再选择“+eV”或“-eV”,最后点击“Close”关闭窗口。 2.扣除X射线伴峰(Satellite Subtraction—此步骤仅适用于双阳极XPS a.用鼠标指针选中某个元素的窄扫谱图,然后点击工具栏中的“Satellite Subtraction” 图标。 b. 在弹出的窗口中选择本底类型为“Smart ”,勾选“Subtract Background First ”,然后 点“Subtract Satellites ”。(注意XPS 测试时双阳极的