微机械陀螺仪的基工作原理、主要特点及应用情况.pptVIP

微机械陀螺仪的基本工作原理、主要特点及应用情况 主讲人：宋璐 学号：2120121012 1. 概述 2.基本工作原理 3.主要特点 4.应用情况 内容提要 1/13 MEMS：Micro Electro Mechanical systems 微米/纳米技术：micro/nanotechnology 微机械陀螺仪，也叫硅微陀螺仪、微机电陀螺仪，它被誉为指尖上的陀螺仪。 1. 概述 2/13 振动结构：线振动结构和角振动结构 材料：硅材料和非硅材料 驱动方式：静电驱动式、电磁驱动式和压电驱动式 检测方式：电容性检测、压阻型检测、压电性检测、光学检测和隧道效应检测 工作方式：速率陀螺仪和速率积分陀螺仪 加工方式：体微机械加工、表面机械加工和LIGA加工方式等 1.1 分类 3/13 1. 国内硅微机电陀螺技术在设计理论研究上和国外存在差距 2. MEMS工艺条件和国外相比存在较大的差距，产品加速度敏感性普遍偏大 3. 微弱信号检测及专用集成电路水平和国外相比存在较大的差距 4. 国内硅微机电陀螺仪的工程化水平和国外相比存在较大的差距 5. 国内硅微机电陀螺仪加速度敏感性普遍偏大 1.2 微机械陀螺技术与国外的差距 4/13 目前，微机械陀螺仪还属于中、低精度范畴，它们的研制成功将投入更多的军事和商业应用。尤其在军事方面，通过采用微机械陀螺仪技术，可以把制导、导航和控制引入以前未能考虑