传感器与检测技术 第七章 霍尔传感器资料讲解.pptVIP

传感器与检测技术 传感与检测技术 武汉理工大学自动化学院 Copyright ? 2004 WUT. All Rights Reserved. 第七章 霍尔传感器 第一节 霍尔效应 第二节 霍尔元件的基本特性 第三节 霍尔元件的误差及其补偿 第四节 测量电路 第五节 集成霍尔传感器 第六节 霍尔传感器的应用 第一节 霍尔效应 1879年美国物理学家霍尔发现霍尔效应。 金属或半导体薄片置于磁场中，当有电流流过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势，这种物理现象称为霍尔效应。 半导体中的电子受洛伦兹力FL的作用： 电子又受到霍尔电场的作用力 当达到动态平衡时 霍尔电场强度 X为电荷的迁移率（m2/vs） 电流密度 电阻率 霍尔电压为： 令 则 KH表示为一个霍尔元件在单位B和电位I时输出霍尔电压的大小。与霍尔常数RH成正比，而与霍尔片厚度d成反比。为了提高灵敏度，霍尔元件常制成薄片形状。 则 称之为霍尔元件灵敏度 令 第二节 霍尔元件的基本特性 一、霍尔元件 二、霍尔元件的基本特性 1. UH—B 特性 当控制电流不变时，霍尔电压与磁场具有单值关系，在磁不饱和时，UH与B具有线性关系。如使传感器处于非均匀磁场中，传感器的输出正比于磁感应强度，因此，对凡是能转换为磁感应强度变化的量都能进行测量，如位移、角度、转速和加速度等。 二、霍尔元件的基本特性 2. UH —I 特性 特性磁场不变，传感器输出值正比于控制电流值，因此，凡能转换为电流变化的量，均能进行测量。 3. UH——IB 特性 传感器输出值正比于磁感应强度和控制电流之积，因此，它可以用于乘法、功率等方面的计算与测量。 霍尔元件主要特性参数： 1. 输入电阻和输出电阻 霍尔元件工作时需要加控制电流，这就需要知道控制电极间的电阻，称输入电阻。霍尔电极输出霍尔电势对外电路来说相当于一个电压源，其电源内阻即为输出电阻。以上电阻值是在磁感应强度为零且环境温度在20℃±5℃时确定的。 2. 额定控制电流和最大允许控制电流 当霍尔元件自身温升10℃时所流过的控制电流称为额定控制电流。以元件允许的最大温升为限制所对应的控制电流称为最大允许控制电流。 3. 不等位电势和不等位电阻 当霍尔元件的控制电流为IN时，若元件所处位置磁感应强度为零，则它的霍尔电势应该为零，但实际不为零。这时测得的空载霍尔电势称不等位电势。 产生这一现象的原因有： （1）霍尔电极安装位置不对称或不在同一等电位面上； （2）半导体材料不均匀造成了电阻率不均匀或是几何尺寸不均匀。 （3）控制电极接触不良造成控制电流不均匀分布等。 不等位电势是由霍尔电势c和d之间的电阻ro决定的，称为不等位电阻 4. 寄生直流电势 其产生的原因有： （1）控制电极和霍尔电极与基片的连接属于金属与半导体的连接，这种连接是非完全欧姆接触时。会产生整流效应； （2）控制电流和霍尔电势都是交流时，经整流效应，它们各自都在霍尔电极之间建立直流电势。 （3）两个霍尔电极焊点的不一致，造成两焊点热容量、散热状态的不一致，因而引起两电极温度不同产生温差电势，也是寄生直流电势的一部分。 5. 寄生感应电势 当控制电流I为交变电流时，此电流形成的交变磁场在电极引线上要产生寄生感应电势。为了减小寄生感应电势，要求各电极引线尽可能短，且布线合理以减少磁交链。 6. 霍尔电势温度系数 在一定磁感应强度和控制电流下，温度每变化1℃时，霍尔电势变化的百分率称霍尔电势温度系数。 三、误差及其补偿 1、零位误差及其补偿 霍尔元件在控制电流I=0或磁场B=0时出现的霍尔电压ΔUH，称之为零位误差。 （1）直流寄生电势 霍尔元件控制电流或霍尔电压两引线电极焊点大小不等、热容量不同，或接触不良、欧姆电阻大小不等，因而引起温差电势。提高电极焊点结构上的对称性，保持电极引线接触良好，且散热条件相同，可以减小这种直流寄生电势。 （2）寄生感应电势 当控制电流I为交变电流时，此电流形成的交变磁场在电极引线上要产生寄生感应电势。为了减小寄生感应电势，要求各电极引线尽可能短，且布线合理以减少磁交键。 （3）不等位电势 不等位电势与霍尔电势具有相同的数量级，有时甚至超过霍尔电势。实用中，若想消除不等位电势极其困难的，因而只有采用补偿的方法。由于不等位电势由不等位电阻产生，因而可以用分析电阻的方法找到一个不等位电势的补偿方法。 霍尔元件不等位电势原理图 （a）不对称电极 （b）电极等效电桥 不等位电势补偿电路 （a）是电阻值较大的桥臂上并联电阻 （b）是在两相邻桥臂上并联电阻，以