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GB/T 11446.1一1997
台
前 .二1
本标准是对GB11446.1-89《电子级水》国家标准进行修订。
原标准GB11446.1是参照1983年ASTM委员会电子级水规范草案8及D1193-77{82)试剂用
水规范制定的。随着电子工业、微电子工业的飞速发展对电子级水的质量要求更严格。美国从1991年
开始,颁布了新的ASTMD5127-90电子级水规范并沿用至今。我国原标准GB11446.1与 1995年
ASTMD5127-90电子级水规范相比,标准技术内容中缺少金属镍、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根
离子、细菌内毒素的技术指标。另外,由于当时我国分析手段的局限性,其中颗粒、细菌、总有机碳等技术
指标水平规定得较低,因此与ASTMD5127-90电子级水规范水平相比有一定差距,已不能满足电子
工业发展的需要。为此,我们非等效地采用美国1995年ASTMD5127-90电子级水规范。
本标准将原电子级水级别由5级改为4级,技术内容增加了金属镍、硝酸根、磷酸根、硫酸根等指
标;删去了1995年ASTMD5127-90标准中未规定的金属铝、铁、钙技术指标,提高了颗粒和细菌的指
标要求;增加了有关水的词汇;同时考虑到目前我国实际情况,这次修订时没有规定细菌内毒素的指标
和检测方法。
本标准从实施之日起同时代替GB11446.1-890
本标准由中华人民共和国电子工业部提出。
本标准由电子工业部标准化研究所归口。
本标准起草单位:中国科学院半导体研究所、电子工业部标准化研究所。
本标准主要起草人:闻瑞梅、李晓英、王在忠、闰桂珍。
中华人民共和国国家标准
GB/r 11446.1一 1997
电 子 级 水
代替GB11446.1-89
Electronicgradewater
范围
本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则。
本标准适用于电子元器件生产和清洗用水。
2 引用标准
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均
为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB/T11446.3-1997 电子级水测试方法通则
GB/T11446.4-1997 电子级水电阻率的测试方法
GB/T11446.5-1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T11446.6-1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T11446.7-1997 电子级水中痕量氛离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱
测试方法
GB/T11446.8-1997 电子级水中总有机碳的测试方法
GB/T11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T11446.10-1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法
3 定义
本标准采用下列定义。
3.1 电子级水 electronicgradewater
制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水。
3.2 电阻率 resistivity
在规定温度下,1cm,水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号P表示,单位为ilcm,纯水
的理论电阻率为18.3MO ·cm(250C)o
3.3 全硅 totalsilicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。
3.4 可溶性硅 solublesilicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。
3.5微粒性物质 granularmatter
除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质。
3.6 总有机碳T(OO totalorganiccarbon
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方
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